Влияние отжига на структуру многослойных пленочных композицій С/Si

Журавель, И.А.; Бугаев, Е.А.; Конотопский, Л.Е.; Зубарев, Е.Н.; Севрюкова, В.А.; Кондратенко, В.В.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/43545

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Влияние отжига на структуру многослойных пленочных композицій С/Si
Authors	Журавель, И.А. Бугаев, Е.А. Конотопский, Л.Е. Зубарев, Е.Н. Севрюкова, В.А. Кондратенко, В.В.
ORCID
Keywords	багатошарові плівкові покриття многослойные пленочные покрытия multilayer film coating
Type	Conference Papers
Date of Issue	2013
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/43545
Publisher	Сумский государственный университет
License
Citation	Влияние отжига на структуру многослойных пленочных композицій С/Si [Текст] / И.А. Журавель, Е.А. Бугаев, Л.Е. Конотопский и др. // Фізика, електроніка, електротехніка : матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 22-27 квітня 2013 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. - Суми : СумДУ, 2013. - С. 61.
Abstract	Многослойные пленочные композиции C/Si могут использоваться в качестве высокоразрешающих отражающих покрытий для диапазона длин волн 17 – 35 нм. Также эта система эффективна и в других сферах применения – низкотемпературном синтезе карбида кремния и изготовления антифрикционных покрытий. Подробное исследование структурных преобразований в многослойной композиции является важным для всех вышеуказанных сфер.
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)