Автоматизована система вакуумного напилення

Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4417

Використовуйте наступні посилання для розповсюдження матеріалу в соціальних мережах: Рекомендувати цей матеріал

Назва	Автоматизована система вакуумного напилення
Автори	Великодний, Дмитро Володимирович
ORCID	http://orcid.org/0000-0003-0044-5619
Ключові слова	вакуумне напилення вакуумное напыление vacuum deposition
Вид документа	Тези доповідей
Дати випуску	2008
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу)	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4417
Видавець	Видавництво СумДУ
Ліцензія	Copyright не зазначено
Бібліографічний опис	Великодний, Д.В. Автоматизована система вакуумного напилення [Текст] / Д.В. Великодний // Матеріали та програма науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспірантів і студентів фізико-технічного факультету : присвяченої Дню науки в Україні та 60-річчю СумДУ, 21-24 квітня. — Суми : СумДУ, 2008. — Т.1. — С. 130-131.
Короткий огляд (реферат)
Розташовується у зібраннях:	Наукові видання (ЕлІТ)