Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/64232
Title: Formation of porous zinc nanosystems using direct and reverse flows of DC magnetron sputtering
Other Titles: Формування наносистем цинку з використанням прямих та обернених потоків магнетрона на постійному струмі
Authors: Latyshev, Vitalii Mykhailovych 
Perekrestov, Viacheslav Ivanovych
Korniushchenko, Hanna Serhiivna
Zahaiko, Inna Volodymyrivna
Keywords: metals
zinc
nanomaterials
magnetron sputtering
crystal morphology
метали
цинк
наноматеріали
металлы
наноматериалы
магнетронное распыление
морфология кристалла
Issue Year: 2017
Publisher: STC Institute for single Crystals
Citation: Formation of porous zinc nanosystems using direct and reverse flows of DC magnetron sputtering [Текст] / V.M. Latyshev, V.I. Perekrestov, A.S. Korniushchenko, I.V. Zahaiko // Functional materials. — 2017. — №24(1). — P. 154-161.
Abstract: У роботі проведено порівняльний аналіз двох механізмів структуроутворення наносистем Zn. У першому класичному варіанті формування наносистем відбувалося на підігрітих підкладках, які розташовані перед магнетронним розпилювачем. Другий варіант заснований на конденсації обернених дифузійних потоків розпиленої речовини на підкладки, які розташовані у порожнині магнетронного розпилювача. Показано, що у порівнянні з класичним варіантом, використання обернених дифузійних потоків призводить до більш вісокої відтворюваності технологічного процесу і до суттєвого підвищення швидості нарощування наносистем.
The work is devoted to comparative analysis of two technological solutions for Zn nanosystems formation which have been implemented on the basis of direct-current magnetron sputtering. In the first case, conventional magnetron sputtering was used and direct flows were deposited on the substrate positioned in the front of sputterer. In the second case, reverse flows were used and the substrate was located inside the magnetron sputterer. It has been shown experimentally, that the second technological approach gives more reproducible results as compared to the classical one. In addition, usage of the reverse flows leads to significant increase in the nanosystems deposition rates
URI: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/64232
Type: Article
Appears in Collections:Наукові видання (ЕлІТ)

Views
Other29
Germany2
Ukraine2
United States2
Downloads
Other31
China1
Germany4
Russia1
Slovakia1


Files in This Item:
File Description SizeFormatDownloads 
Latyshev_Formation of porous.pdfОсновная статья756.82 kBAdobe PDF38Download


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.