Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/67912
Title: Аналіз впливу параметрів магнетронного розпилення на формування наноструктурних покриттів TaB2
Authors: Shelest, Ihor Vladyslavovych
Kravchenko, Yaroslav Olehovych 
Buranych, Volodymyr Volodymyrovych
Бровко, Д.Ю.
Keywords: тонкі покриття
тонкие покрытия
thin coatings
наноструктурні покриття
наноструктурные покрытия
nanostructured coatings
магнетронне розпилення
магнетронное распыление
magnetron sputtering
Issue Year: 2018
Publisher: Сумський державний університет
Citation: Аналіз впливу параметрів магнетронного розпилення на формування наноструктурних покриттів TaB2 [Текст] / І.В. Шелест, В.В. Буранич, Д.Ю. Бровко, Я.О. Кравченко // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 5-9 лютого 2018 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. – Суми: СумДУ, 2018. – С. 49.
Abstract: Тонкі покриття на основі боридів перехідних металів мають високу температуру плавлення та твердість, і знайшли широкий діапазон використання у різних галузях промисловості, за рахунок ефективного підвищення захисних властивостей. Для нанесення даних покриттів високу популярність здобув метод нереактивного магнетронного розпилення композиційних мішеней за участю іонного бомбардування, за рахунок високої варіативності в плані регулювання параметрів.
URI: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/67912
Type: Theses
Appears in Collections:Наукові видання (ЕлІТ)

Views
Other6
Downloads
Other4


Files in This Item:
File Description SizeFormatDownloads 
Shelest_Buranych_Brovko_Kravchenko.pdf433.91 kBAdobe PDF4Download


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.