Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)

Permanent URI for this collectionhttps://devessuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/197

Browse

Search Results

Now showing 1 - 6 of 6
  • Item
    Влияние давления азотной атмосферы при осаждении вакуумно-дуговых многопериодных покрытий (Ti, Si)N/MoN на их структуру и свойства
    (Сумский государственный университет, 2016) Береснев, B.M.; Соболь, О.В.; Мейлехов, А.А.; Постельник, А.А.; Новиков, В.Ю.; Колесников, Д.А.; Столбовой, В.A.; Немченко, У.С.; Сребнюк, П.А.
    Використовуючи комплекс методів структурної інженерії, що включає: елементний аналіз, рентгендифракційні дослідження і вимірювання мікротвердості, в роботі проведено аналіз впливу робочого тиску азотної атмосфери при осадженні (PN) на формування фазово-структурного стану і меанічних властивості многоперіодних вакуумно-дугових покриттів системи (Ti, Si)N/MoN. Показано, що в інтервалі тисків, що використовувалися, PN = 0,05…0,67 Па при підвищенні тиску відбуваються зміни на елементному рівні: зменшується вміст Si, збільшуються – N і відносини Mo/Ti). На фазовому рівні в основному зміни відбуваються в шарах на основі молібдену, де зі збільшенням тиску відбувається перехід Mo → γ-Mo2N → MoN. Найбільша твердість (37,5 ГПа) досягається в цьому випадку при утворенні шарів TiN/γ-Mo2N з ізоструктурною кристалічною решіткою. Використання високотемпературного відпалу (1023 K) дозволяє підвищити твердість покриттів, отриманих при відносно невисокому PN = 0,09 Па, коли через малий вміст азоту можливе формування додаткової твердої фази Ti5Si3.
  • Item
    Влияние высокоэнтропийных составляющих нитридных слоев на содержание азота и твердость вакуумно-дуговых многослойных покрытий (TiN-Cu)/(AlNbTiMoVCr)N
    (Сумский государственный университет, 2016) Береснев, В.М.; Соболь, О.В.; Литовченко, С.В.; Немченко, У.С.; Столбовой, В.А.; Колесников, Д.А.; Мейлехов, А.А.; Постельник, А.А.; Турбин, П.В.; Маликов, Л.В.
    Используя методы элементного анализа, рентгеноструктурных исследований и измерения микротвердости, необходимые для проведения комплексных исследований по схеме: состав – структура – свойства, исследованы возможности структурной инженерии многослойных (TiN-Cu)/(AlNbTiMoVCr)N покрытий. Установлено, что введение второго слоя из высокоэнтропийного сплава даже при относительно малом содержании составляющих элементов (до 1 мас. %) сопровождается формированием фазы на основе ГЦК решетки твердого раствора. Переход от однослойных TiN-Cu покрытий к многослойной системе (TiN-Cu)/(AlNbTiMoVCr)N сопровождается повышением относительного содержания азота в покрытии и ростом твердости, достигающей 24,5 ГПа.
  • Item
    Влияние безвакуумного отжига на морфологию покрытий NbNх, NbNx : Si
    (Сумский государственный университет, 2016) Рогоз, В.Н.; Кузьменко, А.П.; Соболь, О.В.; Плющик, А.
    В работе описываются особенности изменения нитридных покрытий NbNх и легированных атомами Si NbNx : Si с добавлением примеси кремния и без него. Образцы были получены методом магнетронного осаждения при отрицательном потенциале Us = – 40 В на подложку из кремния. После осаждения проводился высокотемпературный отжиг 800 °С в атмосфере воздуха.
  • Item
    Влияние на механические характеристики толщины слоев в многослойных покрытиях MoN/CrN, осаждаемых под действием отрицательного потенциала смещения
    (Сумский государственный университет, 2016) Береснев, В.М.; Соболь, О.В.; Столбовой, А.В.; Литовченко, С.В.; Колесников, Д.А.; Немченко, У.С.; Мейлехов, А.А.; Постельник, А.А.
    З використанням методу структурної інженерії в роботі проведено комплексне дослідження впливу товщини шарів багатошарової композиції MoN/CrN при впливі постійного негативного Ub на фазово-структурний стан і механічні властивості покриттів. Виявлено, що в складових (Cr-N та Mn-N) шарах формуються фази з ізоструктурною кубічною (типу NaCl) кристалічною решіткою з віссю текстури [311] при малому Ub = – 20 В і [111] при великому Ub = – 150 В. Встановлено, що перемішування в міжкордонних областях шарів при великих Ub = – 150 В призводить до різкого зниження механічних властивостей при товщині шарів h ≤ 40 нм. Найвища твердість 39,8 ГПа і абразивна міцність для LC5 = 145 Н, була досягнута для h ≈ 12 нм при подачі малого Ub = – 20 В.
  • Item
    Cтруктурная инженерия вакуумно-дуговых многослойных покрытий ZrN/CrN
    (Сумский государственный университет, 2016) Соболь, О.В.; Андреев, А.А.; Горбань, В.Ф.; Мейлехов, А.А.; Постельник, А.А.; Столбовой, В.А.
    Для багатошарової системи ZrN/CrN з великим розходженням за атомними масами і радіаційно-стимульованого дефектоутворенням металевих складових, проаналізовано вплив товщини шарів (в нанометровому діапазоні) і негативного потенціалу зсуву, що подається при осадженні (– Us) на структуру і твердість композиційних вакуумно-дугових покриттів. Встановлено, що при товщині шарів менше 50 нм подача – Us призводить до зростання мікродеформації в шарах CrN при бомбардуванні їх іонами Zr з великим атомним радіусом і масою, а в шарах ZrN спостерігається релаксація деформації. Спостережувані ефекти пояснені підвищенням енергії осаджених іонізованих частинок при подачі – Us, що визначає радіаційно-стимульоване перемішування на міжфазних границях шарів і призводить до падіння твердості. Найбільша твердість 42 ГПа в системі ZrN/CrN досягається при осадженні тонких (20 нм) шарів у відсутності – Us.
  • Item
    Влияние потенциала смещения на фазовый состав, структуру, субструктуру и механические характеристики многослойной системы TiN/ZrN, полученной вакуумно- дуговым испарением
    (Сумский государственный университет, 2015) Соболь, О.В.; Андреев, А.А.; Горбань, В.Ф.; Столбовой, В.А.; Пинчук, Н.В.; Мейлехов, А.А.
    Вивчено вплив постійного та імпульсного негативного потенціалів зсуву, що подаються на підкладку в процесі осадження на фазовий склад, структуру, субструктуру і механічні характеристики багатошарових покриттів ZrN/TiN з товщиною бішару 50-200 нм. Встановлена двофазність одержуваного покриття з ZrN і TiN фаз з ГЦК решіткою структурного типу NaCl, без істотного перемішування і втрати планарності шарів. Використання високовольтних імпульсів дозволяє в значній мірі змінювати структуру і властивості при Ub < 100 В. При більшому значенні Ub, постійний потенціал стає визначальним для структурної інженерії покриття. Показано, що найбільша твердість притаманна покриттям отриманим при Ub = – 140...– 150 В, при цьому H/E досягає великої величини 0,14, що складно отримати в одношарових покриттях.