Видання зареєстровані авторами шляхом самоархівування
Permanent URI for this communityhttps://devessuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1
Browse
Search Results
Item Процеси структуроутворення покриттів на основі ZrN в умовах магнетронного розпилення(Сумський державний університет, 2025) Пахненко, Діана Вікторівна; Pakhnenko, Diana Viktorivna; Ханюков, Кирило Сергійович; Khaniukov, Kyrylo Serhiiovych; Варакін, Віталій Олегович; Varakin, Vitalii Olehovych; Говорун, Тетяна Павлівна; Hovorun, Tetiana PavlivnaМетоди іонно-плазмового розпилення характеризують направленість потоку кластерів, що утворюють покриття, і в залежності від умов проведення процесу призводить до різного структурного стану сформованих покриттів. Осадження наноструктурованих покриттів можливе з використанням покращеного вакуумного обладнання, отриманні інформації про процес формування покриття при осадженні із застосуванням мікроскопії та аналізу його складу.