Факультет електроніки та інформаційних технологій (ЕлІТ)

Browse

Now showing 1 - 1 of 1

Дослідження морфології та елементного складу NbCuSi та (NbCuSi)N покриттів отриманих методом PVD
(Сумський державний університет, 2023) Мойсеєнко, А.І.
У першому розділі розглянуто види функціональних покриттів та їх структурні особливості, а саме потрійні нітридні та багатокомпонентні покриття. Також методи фізичного осадження з парогазової фази та осадження покриттів на основі нітриду металів. У другому розділі описано методи осадження і дослідження багатоелементних покриттів. Третій розділ присвячено дослідженню морфології та елементного складу інтерметалідних та нітридних покриттів серій NbCuSi та (NbCuSi)N.