Дослідження морфології та елементного складу NbCuSi та (NbCuSi)N покриттів отриманих методом PVD
No Thumbnail Available
Date
2023
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Сумський державний університет
Bachelor’s paper
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
153 - Мікро- та наносистемна техніка
Date of Presentation
June 2023
Abstract
У першому розділі розглянуто види функціональних покриттів та їх структурні особливості, а саме потрійні нітридні та багатокомпонентні покриття. Також методи фізичного осадження з парогазової фази та осадження покриттів на основі нітриду металів. У другому розділі описано методи осадження і дослідження багатоелементних покриттів. Третій розділ присвячено дослідженню морфології та елементного складу інтерметалідних та нітридних покриттів серій NbCuSi та (NbCuSi)N.
Keywords
покриття, coatings, методи осадження, deposition methods, аналіз, analysis
Citation
Мойсеєнко А. І. Дослідження морфології та елементного складу NbCuSi та (NbCuSi)N покриттів отриманих методом PVD : робота на здобуття кваліфікаційного ступеня бакалавра : спец. 153 - мікро- та наносистемна техніка / наук. кер. Я. О. Кравченко. Суми : Сумський державний університет, 2023. 41 с.