Дослідження морфології та елементного складу NbCuSi та (NbCuSi)N покриттів отриманих методом PVD
| dc.contributor.author | Мойсеєнко, А.І. | |
| dc.date.accessioned | 2023-07-05T08:08:31Z | |
| dc.date.available | 2023-07-05T08:08:31Z | |
| dc.date.issued | 2023 | |
| dc.date.presentation | June 2023 | en_US |
| dc.description.abstract | У першому розділі розглянуто види функціональних покриттів та їх структурні особливості, а саме потрійні нітридні та багатокомпонентні покриття. Також методи фізичного осадження з парогазової фази та осадження покриттів на основі нітриду металів. У другому розділі описано методи осадження і дослідження багатоелементних покриттів. Третій розділ присвячено дослідженню морфології та елементного складу інтерметалідних та нітридних покриттів серій NbCuSi та (NbCuSi)N. | en_US |
| dc.identifier.citation | Мойсеєнко А. І. Дослідження морфології та елементного складу NbCuSi та (NbCuSi)N покриттів отриманих методом PVD : робота на здобуття кваліфікаційного ступеня бакалавра : спец. 153 - мікро- та наносистемна техніка / наук. кер. Я. О. Кравченко. Суми : Сумський державний університет, 2023. 41 с. | en_US |
| dc.identifier.uri | https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/92379 | |
| dc.language.iso | uk | en_US |
| dc.publisher | Сумський державний університет | en_US |
| dc.rights.uri | cne | en_US |
| dc.speciality.id | [{"code": 4, "name": "Факультет електроніки та інформаційних технологій (ЕлІТ)"}, {"code": 24, "name": "Кафедра наноелектроніки та модифікації поверхні"}, {"code": 47, "name": "153 - Мікро- та наносистемна техніка"}] | en_US |
| dc.speciality.name | 153 - Мікро- та наносистемна техніка | en_US |
| dc.subject | покриття | en_US |
| dc.subject | coatings | en_US |
| dc.subject | методи осадження | en_US |
| dc.subject | deposition methods | en_US |
| dc.subject | аналіз | en_US |
| dc.subject | analysis | en_US |
| dc.title | Дослідження морфології та елементного складу NbCuSi та (NbCuSi)N покриттів отриманих методом PVD | en_US |
| dc.type | Bachelous paper | en_US |