Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/11026
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Пристрій для формування вакуумних конденсатів
Authors Perekrestov, Viacheslav Ivanovych
Kosminska, Yuliia Oleksandrivna  
Korniushchenko, Hanna Serhiivna  
ORCID http://orcid.org/0000-0002-2175-9206
http://orcid.org/0000-0002-2996-1003
Keywords пристрій
вакуумний конденсат
катодний вузол
Type Patent
Date of Issue 2007
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/11026
Publisher Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ)
License
Citation Пат. 80775 С2 Україна, МПК6 C 23 C 14/35. Пристрій для формування вакуумних конденсатів / В.І. Перекрестов, Ю.О. Космінська, Г.С. Корнющенко (Україна); заявник та патентовласник Сумський держ. ун-т. - № a200601412; заявл. 13.02.2006; опубл. 25.10.2007, бюл. № 17.
Abstract Пристрій для формування вакуумних конденсатів містить охолоджуваний водою катодний вузол, анод, за який використані стінки робочої камери. Катодний вузол циліндричної форми складається з мішені, виготовленої із розпилювального матеріалу, тримача мішені, до якого прилягає магнітна система у вигляді постійних магнітів. Тримач мішені виготовлений із матеріалу, що має високу теплопровідність, і забезпечує відвід теплоти від мішені, яка кріпиться в його нижній частині, та підкладку, розміщену безпосередньо на тримачі мішені в отворі, який виконаний в центральній частині мішені. До підкладки прилягає заслінка, діаметр якої дорівнює діаметру отвору і яка може бути виведена із катодного вузла за допомогою штанги. Пристрій дозволяє забезпечити повний контроль над процесом конденсації та отримувати шари з різною архітектурою для будь-яких провідникових матеріалів. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/11026
Устройство для формирования вакуумных конденсатов содержит охлаждаемый водой катодный узел, анод, в качестве которого использованы стенки рабочей камеры. Катодный узел цилиндрической формы состоит из мишени, изготовленной из распилочного материала, держателя мишени, к которому прилегает магнитная система в виде постоянных магнитов. Держатель мишени изготовлен из материала, который имеет высокую теплопроводность, и обеспечивает отвод тепла от мишени, которая крепится в его нижней части, и подкладку, расположенную непосредственно на держателе мишени в отверстии, которое выполнено в центральной части мишени. К подкладке прилегает заслонка, диаметр которой равняется диаметру отверстия, и которая может быть выведена из катодного узла с помощью штанги. Устройство позволяет обеспечить полный контроль над процессом конденсации и получать слои с разной архитектурой для любых проводниковых материалов. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/11026
A mechanism for forming vacuum condensates contains cathode unit cooled with water, anode, and as such walls of working chamber are used. The cathode unit of cylindrical form consists of target made of wafering material, target holder to which magnetic system in the form of constant magnets is adjacent. The target holder is made of material having a high thermal conduction, and provides withdrawal of heat from the target being fixed in its lower part, and support disposed directly of the target holder in the orifice, which is made in the central part of the target. A shutter is adjacent to support, and its diameter is equal to diameter of orifice and which can be taken out from cathode unit by means of bar. The mechanism allows providing a complete control of the process of condensation and obtaining layers of different architecture for any conductive materials. When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/11026
Appears in Collections: Патенти

Views

Argentina Argentina
1
Canada Canada
2
China China
153463
France France
2
Germany Germany
5248
Greece Greece
306923
Iran Iran
1
Ireland Ireland
1212279
Lithuania Lithuania
1
Netherlands Netherlands
25578
Romania Romania
1
Russia Russia
16
Singapore Singapore
1
Turkey Turkey
4
Ukraine Ukraine
11989657
United Kingdom United Kingdom
6045986
United States United States
43713734
Unknown Country Unknown Country
71

Downloads

China China
3
Germany Germany
316
Lithuania Lithuania
1
Singapore Singapore
1
Ukraine Ukraine
11989658
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
63452971
Unknown Country Unknown Country
154

Files

File Size Format Downloads
getdocument.pdf 93.6 kB Adobe PDF 75443105

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.