Пристрій для формування вакуумних конденсатів

Abstract

Пристрій для формування вакуумних конденсатів містить охолоджуваний водою катодний вузол, анод, за який використані стінки робочої камери. Катодний вузол циліндричної форми складається з мішені, виготовленої із розпилювального матеріалу, тримача мішені, до якого прилягає магнітна система у вигляді постійних магнітів. Тримач мішені виготовлений із матеріалу, що має високу теплопровідність, і забезпечує відвід теплоти від мішені, яка кріпиться в його нижній частині, та підкладку, розміщену безпосередньо на тримачі мішені в отворі, який виконаний в центральній частині мішені. До підкладки прилягає заслінка, діаметр якої дорівнює діаметру отвору і яка може бути виведена із катодного вузла за допомогою штанги. Пристрій дозволяє забезпечити повний контроль над процесом конденсації та отримувати шари з різною архітектурою для будь-яких провідникових матеріалів. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/11026

Устройство для формирования вакуумных конденсатов содержит охлаждаемый водой катодный узел, анод, в качестве которого использованы стенки рабочей камеры. Катодный узел цилиндрической формы состоит из мишени, изготовленной из распилочного материала, держателя мишени, к которому прилегает магнитная система в виде постоянных магнитов. Держатель мишени изготовлен из материала, который имеет высокую теплопроводность, и обеспечивает отвод тепла от мишени, которая крепится в его нижней части, и подкладку, расположенную непосредственно на держателе мишени в отверстии, которое выполнено в центральной части мишени. К подкладке прилегает заслонка, диаметр которой равняется диаметру отверстия, и которая может быть выведена из катодного узла с помощью штанги. Устройство позволяет обеспечить полный контроль над процессом конденсации и получать слои с разной архитектурой для любых проводниковых материалов. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/11026

A mechanism for forming vacuum condensates contains cathode unit cooled with water, anode, and as such walls of working chamber are used. The cathode unit of cylindrical form consists of target made of wafering material, target holder to which magnetic system in the form of constant magnets is adjacent. The target holder is made of material having a high thermal conduction, and provides withdrawal of heat from the target being fixed in its lower part, and support disposed directly of the target holder in the orifice, which is made in the central part of the target. A shutter is adjacent to support, and its diameter is equal to diameter of orifice and which can be taken out from cathode unit by means of bar. The mechanism allows providing a complete control of the process of condensation and obtaining layers of different architecture for any conductive materials. When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/11026