Розпилювальний пристрій для нанесення у вакуумі надпоруватих покриттів з металів або слабколетких речовин на плоскі підкладки

Abstract

Винахід належить до галузі металургії, а саме до конструкції розпилювального пристрою для нанесення у вакуумі надпоруватих покриттів з металів або слабколетких речовин на плоскі підкладки. Розпилювальний пристрій для нанесення у вакуумі надпоруватих покриттів з металів або слабколетких речовин на плоскі підкладки містить анод та катод у вигляді пустотілого зрізаного конуса з отвором, зверненим до анода, вказаний конус закріплений на основі, що з'єднана з охолоджуваним тримачем, всередині вказаного конусу у його нижній частині розташована підкладка, поблизу поверхні якої розміщена заслінка, для переміщення якої в боковій поверхні вказаного конуса виконано отвір, причому до верхньої частини вказаного конуса катода приєднано корпус катода у вигляді циліндричного герметичного корпусу з наскрізним осьовим отвором і всередині цього циліндричного герметичного корпусу розташована охолоджувана магнітна система у вигляді двосекційного кільцевого постійного магніту, до бічних сторін циліндричного герметичного корпусу приєднані патрубки для підводу та відводу теплоносія для цієї системи, а до верхньої частини вказаного циліндричного корпусу прикріплена розпилювана мішень у вигляді диска з наскрізним отвором, який суміщений з отворами пустотілого зрізаного конуса та циліндричного герметичного корпусу катода, причому діаметр наскрізного отвору розпилювальної мішені виконаний меншим мінімального діаметра зони розпилювання, окрім цього, в корпусі охолоджуваного тримача встановлено систему з патрубками для підводу та відводу теплоносія. Винахід забезпечує одержання надпоруватих шарів металів та інших слабколетких речовин з розширенням та контролем режимів нанесення надпоруватого покриття. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/11078

Изобретение относится к области металлургии, а именно к конструкции распылительного устройства для нанесения в вакууме сверхпористых покрытий из металлов или слаболетучих веществ на плоские подкладки. Распылительное устройство для нанесения в вакууме сверхпористых покрытий из металлов или слаболетучих веществ на плоские подкладки содержит анод и катод в виде пустотелого усеченного конуса с отверстием, направленным к аноду, указанный конус закреплен на основе, соединенной с охлаждаемым держателем, внутри указанного конуса в его нижней части расположена подкладка, возле поверхности которой размещена заслонка, для перемещения которой в боковой поверхности указанного конуса выполнено отверстие, причем к верхней части указанного конуса катода присоединено корпус катода в виде цилиндрического герметического корпуса со сквозным осевым отверстием и внутри этого цилиндрического герметического корпуса расположена охлаждаемая магнитная система в виде двухсекционного кольцевого постоянного магнита, к боковым сторонам цилиндрического герметического корпуса присоединены патрубки для подвода и отвода теплоносителя для этой системы, а к верхней части указанного цилиндрического корпуса прикреплена распылительная мишень в виде диска со сквозным отверстием, которое совмещено с отверстиями пустотелого усеченного конуса и цилиндрического герметического корпуса катода, причем диаметр сквозного отверстия распылительной машины выполнен меньшим минимального диаметра зоны распыления, кроме этого, в корпусе охлаждаемого держателя установлено систему с патрубками для подвода и отвода теплоносителя. Изобретение обеспечивает получение сверхпористых слоев металлов и других слаболетучих веществ с расширением и контролем режимов нанесения сверхпористого покрытия. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/11078

The invention relates to metallurgy, namely to a construction of spray device for application of ultra-porous coatings of metals or heavy substances in vacuum on plane substrates. The spray device for application of ultra-porous coatings of metals or heavy substances in vacuum on plane substrates comprises the anode and cathode as hollow truncated cone with aperture directed to anode, said cone is fixed on support connected with cooled holder, inside said cone substrate is located in its the bottom part, at that a gate is located near the surface of the bottom part, for moving of gate in the lateral surface of said cone aperture is made, at that to the top part of said cone of cathode connected case of cathode as cylindrical hermetic case with through axis aperture and inside of this cylindrical hermetic case cooled magnetic system as two-section circular constant magnet is located, branch pipes for supply and withdrawal of heat-carrying for this system are connected to lateral walls of cylindrical hermetic case and spray target as disk with through aperture is connected to the top part of said cylindrical case, at that through aperture is jointed with apertures of hollow truncated cone and cylindrical hermetic case of cathode, at that diameter of through aperture of spray machine is made less of minimal diameter of spraying zone, in addition, system with branch pipes for supply and withdrawal of heat-carrying is installed in case of cooled holder. The invention provides the producing of ultra-porous layers of metals and other heavy substances with extension and control of conditions of application of ultra-porous coating. When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/11078