Восстановление оптических параметров в методе многоугловой эллипсометрии

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/13059

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Восстановление оптических параметров в методе многоугловой эллипсометрии
Authors	Забашта, Л.А. Забашта, О.И.
ORCID
Keywords
Type	Article
Date of Issue	1996
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/13059
Publisher	Изд-во СумГУ
License	Copyright not evaluated
Citation	Забашта, Л.А. Восстановление оптических параметров в методе многоугловой эллипсометрии [Текст] / Л.А. Забашта, О.И. Забашта // Вісник Сумського державного університету. — 1996. — №1(5). — С. 24-29.
Abstract
Appears in Collections:	Вісник Сумського державного університету (1994-1999)