Масс-спектрометрия нейтральных частиц, распыленных ионами с энергией до 170 кэВ

Єремін, Сергій Олександрович; Еремин, Сергей Александрович; Yeremіn, Serhіi Oleksandrovych

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/15880

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Масс-спектрометрия нейтральных частиц, распыленных ионами с энергией до 170 кэВ
Authors	Єремін, Сергій Олександрович Еремин, Сергей Александрович Yeremіn, Serhіi Oleksandrovych
ORCID
Keywords	мас-спектрометрія мас-спектрометрия
Type	PhD Thesis
Date of Issue	2010
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/15880
Publisher	НАН Укр. Ин-т прикладной физики
License
Citation	Еремин, С.А. Масс-спектрометрия нейтральных частиц, распыленных ионами с энергией до 170 кэВ [Текст] : Диссертация на соискание научной степени кандидата физико-математических наук / С.А. Еремин. - Сумы : НАН Укр. Ин-т прикладной физики, 2010. - 153 с.
Abstract	Проблемы эмиссии атомов и молекул из мишеней под действием ионной бомбардировки привлекают внимание большого числа исследователей. Это связано как с физическим интересом к самому процессу, так и с огромным количеством известных прикладных задач [1-6]. Некоторые из этих задач требуют сепарации по массам продуктов ионного распыления. К их числу можно отнести, например, исследование эмиссии кластеров и молекулярных соединений. Так, в кластерных источниках распылительного типа желательно использовать такие параметры пучка первичных ионов, при которых относительная доля кластеров в потоке распыленных частиц максимальна. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/15880
Appears in Collections:	Дисертації