Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/27251
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Формирование низкоразмерных систем металлов, кремния и углерода в условиях квазиравновесной стационарной конденсации
Authors Kosminska, Yuliia Oleksandrivna  
Perekrestov, Viacheslav Ivanovych
Mokrenko, Andrii Anatoliiovych
Korniushchenko, Hanna Serhiivna  
Дешин, Б.В.
Дешин, В.Б.
Keywords магнетронное распыление
накопительная система плазма-конденсат
квазиравновесные условия
селективность
низкоразмерные системы
Type Technical Report
Date of Issue 2011
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/27251
Publisher Вид-во СумДУ
License
Citation Формирование низкоразмерных систем металлов, кремния и углерода в условиях квазиравновесной стационарной конденсации : отчет о НИР (заключительный) / Рук. Ю.А. Косминская. - Сумы : Сумской государственный университет, 2011. - 49 с.
Abstract Объект исследования – процессы структурообразования низкоразмерных структур никеля, хрома, кремния и углерода в процессе квазиравновесной стационарной конденсации атомов. Цель работы: исследование и разработка нового технологического направления формирования низкоразмерных систем углерода, слаболетучих металлов, кремния, основанного на явлениях самоорганизации в условиях квазиравновесных стационарных процессов конденсации на границе раздела плазма-конденсат. В работе получены низкоразмерные пористые слои никеля и хрома в квазиравновесных стационарных условиях при помощи планарной магнетронной распылительной системы на постоянном токе, а также при помощи разработанной нами накопительной системы плазма-конденсат. Показано, что процесс их формирования сопровождается отсутствием классической ростовой коалесценции, переориентацией слабых осаждаемых потоков в области первичных скоплений кластеров, а также гомогенной нуклеацией в местах их сращивания. Реализованы условия квазиравновесной конденсации в накопительной ионно-плазменной системе с использованием обратных диффузионных потоков распыленного вещества. Данная технология позволила обнаружить эффекты самоорганизации одинаковых по размерам островков кремния, а также проявление пространственно распределенной структурной и аллотропной селективности при конденсации углерода. В работе обсуждается роль активных центров преимущественного закрепления адатомов, электрического поля над ростовой поверхностью, которое зависит от ее кривизны. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/27251
Appears in Collections: Звіти з наукових досліджень

Views

Armenia Armenia
1
Azerbaijan Azerbaijan
1
China China
75662
Denmark Denmark
2
Finland Finland
1
Germany Germany
251
Kazakhstan Kazakhstan
5062
Lithuania Lithuania
1
Morocco Morocco
2
Netherlands Netherlands
2
Poland Poland
1
Russia Russia
35
South Korea South Korea
1
Spain Spain
1
Turkey Turkey
4
Ukraine Ukraine
4604
United Arab Emirates United Arab Emirates
1
United Kingdom United Kingdom
50443
United States United States
151314
Unknown Country Unknown Country
94

Downloads

Czechia Czechia
1
France France
6
Germany Germany
252
Russia Russia
2
Ukraine Ukraine
3692
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
1
Unknown Country Unknown Country
130

Files

File Size Format Downloads
Kosminska.doc 30,37 MB Microsoft Word 4085

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.