Структура и свойства нанокомпозитных комбинированных покрытий с высокой твердостью, которые используются в электронной технике. Отработка режимов осаждения в зависимости от потенциала и давления смеси газов (азот и аргон) на подложку

Погребняк, Александр Дмитриевич; Ильяшенко, Максим Викторович; Каверин, М.В.; Каверина, А.Ш.; Кирик, Г.В.; Махмуд, А.М.; Карим, М.А..; Байдак, В.С.; Демьяненко, А.А.; Постольный, Богдан Александрович; Рогоз, В.Н.; Пшик, А.В.; Якущенко, И.В.; Братушка, Сергей Николаевич; Шипиленко, Андрей Павлович

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/27280

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Структура и свойства нанокомпозитных комбинированных покрытий с высокой твердостью, которые используются в электронной технике. Отработка режимов осаждения в зависимости от потенциала и давления смеси газов (азот и аргон) на подложку
Authors	Pohrebniak, Oleksandr Dmytrovych Illiashenko, Maksym Viktorovych Каверин, М.В. Каверина, А.Ш. Кирик, Г.В. Махмуд, А.М. Карим, М.А.. Байдак, В.С. Демьяненко, А.А. Postolnyi, Bohdan Oleksandrovych Рогоз, В.Н. Пшик, А.В. Якущенко, И.В. Bratushka, Serhii Mykolaiovych Shypylenko, Andrii Pavlovych
Keywords	вакуумно-дуговое осаждение микротвердость нанокомпозитные покрытия электронная структура прочность декогезия
Type	Technical Report
Date of Issue	2011
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/27280
Publisher	Вид-во СумДУ
License
Citation	Структура и свойства нанокомпозитных комбинированных покрытий с высокой твердостью, которые используются в электронной технике. Отработка режимов осаждения в зависимости от потенциала и давления смеси газов (азот и аргон) на подложку : отчет о НИР (промежуточный) / Рук. А.Д. Погребняк. - Сумы : Сумской государственный университет, 2011. - 29 с.
Abstract	Объектом исследования является влияние параметров осаждения на ми-кротвердость покрытий, термическую стабильность сверхтвердых наноком-позитов и гетероструктур, также разработка новых свойств покрытий и мно-гокомпонентных твердых наноструктур (нанокомпозитных покрытий) на ос-нове Ti-Hf -Si-N, Zr-Ti-Si-N. Предмет исследования – определение наиболее оптимальных параметров осаждения для достижения максимальной микротвердости нанокомпозитного покрытия. Цель работы – изучить условия проведенения эксперимента по увеличе-нию прочностных характеристик в гетероструктурных и сверхтвердых нано-композитных покрытиях. Провести отработку режимов нанесения покрытий на основе Ti-Zr-Si-N методами вакуумно-дугового осаждения. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/27280
Appears in Collections:	Звіти з наукових досліджень