Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3438
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Розмірний ефект в електрофізичних властивостях плівок Сu, Ni та Co з тонким металевим або діелектричним покриттям
Authors Hovorun, Tetiana Pavlivna  
ORCID http://orcid.org/0000-0002-9384-5250
Keywords металева плівка
тонке покриття
температурний коефіцієнт опору
металлические пленки
тонкое покрытие
температурный коэффициент сопротивления
metal film
overlayer
temperature coefficient of resistance
Type Synopsis
Date of Issue 2009
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3438
Publisher Вид-во СумДУ
License
Citation Говорун, Т.П. Розмірний ефект в електрофізичних властивостях плівок Сu, Ni та Co з тонким металевим або діелектричним покриттям [Текст] : Автореферат... к. фіз.-мат. наук спец.: 01.04.07 – фізика твердого тіла / Т.П. Говорун. - Суми : Сумський державний університет, 2009. - 20 с.
Abstract Дисертаційна робота присвячена дослідженню розмірних ефектів в електрофізичних властивостях (питомий опір, температурний коефіцієнт опору) і параметрах електроперенесення (параметр дзеркальності зовнішніх пове-рхонь, коефіцієнти проходження і розсіювання меж зерен) та особливостей структурно-фазового стану, дифузій-них процесів у плівках Cu, Co (Ni) з тонким покриттям із Ni (Cu) або SiO2. Встановлено, що за рахунок нанесення тонкого металевого покриття з ефективною товщиною в декілька мо-ношарів та проведення термообробки, величина температурного коефіцієнта опору базисних плівок зменшується до 20%, що обумовлено зміною умов розсіювання на зовнішніх і внутрішніх межах. Шляхом обробки експеримен-тальних розмірних залежностей на основі теоретичних моделей Тельє, Тоссе і Пішар показано, що дзеркальність зовнішніх поверхонь в усіх випадках, за винятком плівок п-SiO2/Cu/П, погіршується. У плівках Cu і Ni за рахунок зерномежової дифузії атомів Ni і Cu відповідно зростає дефектність меж зерен, що спричиняє збільшення їх розсі-ювальної здатності, на відміну від плівок Со, де нанесення покриття із Ni приводить до заліковування дефектів на МЗ, результатом чого є покращання їх прозорості для електронів провідності. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3438
Диссертационная работа посвящена исследованию размерных эффектов в электрофизических свойствах (удельное сопротивление, температурный коэффициент сопротивления (ТКС)), параметрах электропереноса (па-раметр зеркальности внешних поверхностей, коэффициенты прохождения и рассеивания границ зерен) и особен-ностей структурно-фазового состояния, диффузионных процессов в пленках Cu, Co (Ni) с тонким покрытием из Ni (Cu) або SiO2. Показано, что вследствии термообработки, атомы металлического покрытия диффундируют преимуществен-но по границам зерен вглубь базисных пленок. Фазовый состав при этом соответствует фазовому составу одноша-ровых пленок Cu, Ni и Co с немного отличающимися (в соответствии с правилом Вегарда) параметрами решетки. Нанесение тонкого покрытия из SiO2и последующая термообработка образцов до температуры ТВ=550-650 К не изменяют структурно-фазового состояния пленок Сu и Со. Для пленочной системы п-SiO2/Ni/П характерно обра-зование низкотемпературного силицида Ni2Si. Установлено, что за счет нанесения тонкого металлического покрытия и проведения термообработки значе-ние температурного коэффициента сопротивления базисных пленок уменьшается до 20%, что обусловлено изме-нением условий рассеивания на внешних и внутренних границах. Путем обработки экспериментальных размерных зависимостей на основе теоретических моделей Телье, Тоссэ и Пишар показано, что зеркальность внешних по-верхностей во всех случаях, за исключением пленок Cu с покрытием из SiO2, становится хуже. В пленках Cu и Ni за счет зернограничной диффузии атомов Ni и Cu соответственно увеличивается дефектность границ зерен, что вызывает рост их рассеивающей способности, в отличие от пленок Со, где нанесение покрытия из Ni залечивает дефекты на границах зерен, что приводит к улучшению их прозрачности для электронов проводимости. Проведено апробацию асимптотического соотношения для удельной проводимости (сопротивления) полик-ристаллических пленок Сu, Ni и Co с тонким металлическим покрытием, полученного на основании теории Мая-даса-Шатцкеса. Показано, что эспериментальные значения соответствуют расчетным с точностью до 8%. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3438
The dissertation work is devoted to theoretical and experimental research of size effects in electrophysical properties (resistivity, temperature coefficient of resistance) and parameters of electrical transfer (the specularity parameter, the reflec-tion and transmission coefficients at the grain boundary), features of the structurally-phase state, diffusive processes in the Cu, Co (Ni) films with thin overlayer Ni (Cu) or SiO2. It is set that due to causing of thin metallic overlayer and conducting thermal annealing, the size of temperature coef-ficient of resistance of tapes of bases diminishes to 20%, that is conditioned the change of terms of dispersion on external and internal boundary. By treatment of experimental dependences of sizes on the basis of theoretical models of Tellier, Tosser and Pichard is shown, that the specularity parameter in all cases, except for Cu films with thin overlayer SiO2, goes from bad to worse. In films of Cu and Ni due to grain-boundary diffusion of atoms Ni and Cu imperfectness of grains boundary is accordingly increased, that causes growth of their dispersive ability, unlike tapes Co, where the atoms of Ni heal imperfectness on the grains boundary, by a result what an improvement of their transparency for the electrons of con-ductivity is. When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3438
Appears in Collections: Автореферати

Views

Australia Australia
1
Austria Austria
2090279
Belarus Belarus
1
Canada Canada
1
China China
3
Czechia Czechia
1
EU EU
1
France France
14159
Germany Germany
564
Greece Greece
1
Iceland Iceland
1
Ireland Ireland
665733
Italy Italy
2
Japan Japan
1
Lithuania Lithuania
1
Netherlands Netherlands
6
Russia Russia
34
Singapore Singapore
1064299380
Slovenia Slovenia
1
Sweden Sweden
1
Turkey Turkey
10
Ukraine Ukraine
379502975
United Kingdom United Kingdom
151261314
United States United States
1448013946
Unknown Country Unknown Country
379502974

Downloads

Austria Austria
151261312
China China
8
France France
2
Germany Germany
107240
Lithuania Lithuania
1
Russia Russia
1
Ukraine Ukraine
1064299379
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
-869615905
Unknown Country Unknown Country
152

Files

File Size Format Downloads
88.pdf 480,64 kB Adobe PDF 346052191

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.