Структура и свойства нанокомпозитных комбинированных покрытий с высокой твердостью, которые используются в электронной технике. Исследование физико-химических свойств и структуры покрытий

Погребняк, Олександр Дмитрович; Погребняк, Александр Дмитриевич; Pohrebniak, Oleksandr Dmytrovych; Братушка, Сергій Миколайович; Братушка, Сергей Николаевич; Bratushka, Serhii Mykolaiovych; Кирик, Г.В.; Ілляшенко, Максим Вікторович; Ильяшенко, Максим Викторович; Illiashenko, Maksym Viktorovych; Каверін, Михайло Валерійович; Каверин, Михаил Валерьевич; Kaverin, Mykhailo Valeriiovych; Каверина, А.Ш.; Постольний, Богдан Олександрович; Постольный, Богдан Александрович; Postolnyi, Bohdan Oleksandrovych; Рогоз, В.Н.; Шипиленко, Андрій Павлович; Шипиленко, Андрей Павлович; Shypylenko, Andrii Pavlovych

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/34482

Title:	Структура и свойства нанокомпозитных комбинированных покрытий с высокой твердостью, которые используются в электронной технике. Исследование физико-химических свойств и структуры покрытий
Authors:	Pohrebniak, Oleksandr Dmytrovych Bratushka, Serhii Mykolaiovych Кирик, Г.В. Illiashenko, Maksym Viktorovych Kaverin, Mykhailo Valeriiovych Каверина, А.Ш. Postolnyi, Bohdan Oleksandrovych Рогоз, В.Н. Shypylenko, Andrii Pavlovych
Keywords:	електронна структура электронная структура нанокомпозитне покриття нанокомпозитные покрытия
Issue Year:	2013
Publisher:	Изд-во СумГУ
Citation:	Структура и свойства нанокомпозитных комбинированных покрытий с высокой твердостью, которые используются в электронной технике. Исследование физико-химических свойств и структуры покрытий: звіт про НДР (промежуточный) / Кер.: А.Д. Погребняк. - Сумы: СумГУ, 2013. - 35 с.
Abstract:	Объектом исследования является исследование физико-химических свойств и структуры нанокомпозитных покрытий на основе Ti-Hf-Si-N; Zr-Ti-Si-N и (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N, а также изучение влияния параметров осаждения на фазовый и элементный состав полученных пленок также был проведен анализ микротвердости покрытий, произведен отжиг и проанализирована терми-ческая стабильность сверхтвердых нанокомпозитов и гетероструктур, также разработка новых свойств покрытий и многокомпонентных твердых нано-структур (нанокомпозитных покрытий) на основе Ti-Hf -Si-N, Zr-Ti-Si-N и Ti-Nb-Si-N, (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/34482
URI:	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/34482
Type:	Technical Report
Appears in Collections:	Звіти з наукових досліджень