Структура и свойства нанокомпозитных комбинированных покрытий с высокой твердостью, которые используются в электронной технике. Исследование физико-химических свойств и структуры покрытий

Погребняк, Александр Дмитриевич; Братушка, Сергей Николаевич; Кирик, Г.В.; Ильяшенко, Максим Викторович; Каверин, Михаил Валерьевич; Каверина, А.Ш.; Постольный, Богдан Александрович; Рогоз, В.Н.; Шипиленко, Андрей Павлович

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/34482

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Структура и свойства нанокомпозитных комбинированных покрытий с высокой твердостью, которые используются в электронной технике. Исследование физико-химических свойств и структуры покрытий
Authors	Pohrebniak, Oleksandr Dmytrovych Bratushka, Serhii Mykolaiovych Кирик, Г.В. Illiashenko, Maksym Viktorovych Kaverin, Mykhailo Valeriiovych Каверина, А.Ш. Postolnyi, Bohdan Oleksandrovych Рогоз, В.Н. Shypylenko, Andrii Pavlovych
Keywords	електронна структура электронная структура нанокомпозитне покриття нанокомпозитные покрытия
Type	Technical Report
Date of Issue	2013
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/34482
Publisher	Изд-во СумГУ
License
Citation	Структура и свойства нанокомпозитных комбинированных покрытий с высокой твердостью, которые используются в электронной технике. Исследование физико-химических свойств и структуры покрытий: звіт про НДР (промежуточный) / Кер.: А.Д. Погребняк. - Сумы: СумГУ, 2013. - 35 с.
Abstract	Объектом исследования является исследование физико-химических свойств и структуры нанокомпозитных покрытий на основе Ti-Hf-Si-N; Zr-Ti-Si-N и (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N, а также изучение влияния параметров осаждения на фазовый и элементный состав полученных пленок также был проведен анализ микротвердости покрытий, произведен отжиг и проанализирована терми-ческая стабильность сверхтвердых нанокомпозитов и гетероструктур, также разработка новых свойств покрытий и многокомпонентных твердых нано-структур (нанокомпозитных покрытий) на основе Ti-Hf -Si-N, Zr-Ti-Si-N и Ti-Nb-Si-N, (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/34482
Appears in Collections:	Звіти з наукових досліджень