Please use this identifier to cite or link to this item:
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/39451
Or use following links to share this resource in social networks:
Tweet
Recommend this item
Title | Структура и свойства нанокомпозитных комбинированных покрытий с высокой твердостью, которые используются в электронной технике |
Authors |
Pohrebniak, Oleksandr Dmytrovych
![]() Кирік, Григорій Васильович Кирик, Григорий Васильевич Kyrik, Hryhorii Vasylovych Illiashenko, Maksym Viktorovych Kaverin, Mykhailo Valeriiovych Kaverina, Alisa Sher Akhmad Shypylenko, Andrii Pavlovych ![]() Postolnyi, Bohdan Oleksandrovych Rohoz, Vladyslav Mykolaiovych ![]() Bratushka, Serhii Mykolaiovych ![]() |
ORCID |
http://orcid.org/0000-0002-9218-6492 http://orcid.org/0000-0002-1741-2525 http://orcid.org/0000-0003-3162-2972 http://orcid.org/0000-0003-3470-2265 |
Keywords |
нанокомпозитні покриття нанокомпозитные покрытия комбіновані покриття комбинированные покрытия |
Type | Technical Report |
Date of Issue | 2014 |
URI | http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/39451 |
Publisher | СумДУ |
License | Copyright not evaluated |
Citation | Структура и свойства нанокомпозитных комбинированных покрытий с высокой твердостью, которые используются в электронной технике [Текст] : отчет о НИР (заключительный) / Рук. А.Д. Погребняк. - Сумы : СумГУ, 2014. - 36 с. |
Abstract |
Основной целью научно-исследовательской работы является установление взаимосвязи технологических параметров осаждения (давление рабочего газа и потенциал смещения подложки) с термической стабильностью, механическими и трибологическими свойствами наноструктурных нитридных покрытий (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N.
Для достижения поставленной цели решались следующие задачи:
1)проанализировать влияние технологических параметров осаждения (давление рабочего газа и потенциал смещения подложки) на элементный и фазовый состав нитридных покрытий;
2)изучить термическую стабильность нитридных покрытий при температуре отжига 873 К. |
Appears in Collections: |
Звіти з наукових досліджень |
Views

-1242613057

2

1

1

1

2

15247

1810200600

1

1

62640772

1

15251

1

1

157789

1

1

1020270984

176679

-1242613055

1836773435

1
Downloads

84271

2

1

7

1014147284

1425919776

1

27

1

-98956115

1

-1242613060

1836773434

5
Files
File | Size | Format | Downloads |
---|---|---|---|
pohrebniak_1143.doc | 14.61 MB | Microsoft Word | -1359611661 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.