Розробка матеріалознавчих основ структурної інженерії вакуумно-плазмових надтвердих покриттів з метою досягнення необхідних функціональних властивостей

Abstract

Керована технологія одержання багатоелементних та багатошарових систем нанорозмірного масштабу з комплексом прогнозованих властивостей, багатошарові системи нітридів та боридів перехідних металів з примусовим фазовим розподілом, та фізико-хімічні процеси, що обумовлюють формування та зміну фазового складу, структури, субструктури, напруженого стану та функціональних властивостей покриттів, що одержані іонним розпиленням та вакуумним випаровуванням.