Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/71102
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Спосіб тонкого очищення інертних газів від газоподібних домішок
Authors Perekrestov, Viacheslav Ivanovych
Korniushchenko, Hanna Serhiivna
Keywords очищення інертних газів
очистка инертных газов
cleaning of inert gases
домішки
примеси
impurity
вакуумна камера
вакуумная камера
vacuum chamber
Type Patent
Date of Issue 2018
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/71102
Publisher Міністерство економічного розвитку і торгівлі України
License
Citation Пат. 117407 U Україна, МПК B01D 53/04 (2006.01). Спосіб тонкого очищення інертних газів від газоподібних домішок / В.І. Перекрестов, Г.С. Корнющенко (Україна); заявник та патентовласник Сумський держ. ун-т. - № a201613359; заявл. 26.12.2016; опубл. 25.07.2018, бюл. № 14.
Abstract Пропонується спосіб тонкого очищення інертних газів від газоподібних домішок, що включає введення в вакуумну камеру через клапан дозованого напуску неочищеного інертного газу, розкладання в плазмі газоподібних домішок неочищеного інертного газу па компоненти, розпилення титанової мішені іонами неочищених інертних газів з наступною конденсацією парів титану і утворенням плівки титану на внутрішній поверхні вакуумної камери, поглинання плівкою титану компонентів газоподібних домішок, в якому з метою підвищення продуктивності тонкого очищення інертних газів, та розширення варіантів їх подальшого використання, як вакуумна камера, в яку вводять неочищений інертний газ, використовують камеру циліндричної форми, внутрішню бокову поверхню якої охолоджують проточною водою, при цьому в якості титанової мішені для іонною розпилення використовують розігрітий до температури, що перевищує N00 °С титановий стрижень, який розташований співвісно циліндричній вакуумній камері, що оснащена клапаном для дозованого відведення очищених інертних газів.
Appears in Collections: Патенти

Views

Ukraine Ukraine
105
Unknown Country Unknown Country
24

Downloads

Ukraine Ukraine
1
Unknown Country Unknown Country
6

Files

File Size Format Downloads
117407_Perekrestov.pdf 353,92 kB Adobe PDF 7

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.