Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/71102
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Спосіб тонкого очищення інертних газів від газоподібних домішок
Authors Perekrestov, Viacheslav Ivanovych
Korniushchenko, Hanna Serhiivna  
ORCID http://orcid.org/0000-0002-2996-1003
Keywords очищення інертних газів
очистка инертных газов
cleaning of inert gases
домішки
примеси
impurity
вакуумна камера
вакуумная камера
vacuum chamber
Type Patent
Date of Issue 2018
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/71102
Publisher Міністерство економічного розвитку і торгівлі України
License
Citation Пат. 117407 U Україна, МПК B01D 53/04 (2006.01). Спосіб тонкого очищення інертних газів від газоподібних домішок / В.І. Перекрестов, Г.С. Корнющенко (Україна); заявник та патентовласник Сумський держ. ун-т. - № a201613359; заявл. 26.12.2016; опубл. 25.07.2018, бюл. № 14.
Abstract Пропонується спосіб тонкого очищення інертних газів від газоподібних домішок, що включає введення в вакуумну камеру через клапан дозованого напуску неочищеного інертного газу, розкладання в плазмі газоподібних домішок неочищеного інертного газу па компоненти, розпилення титанової мішені іонами неочищених інертних газів з наступною конденсацією парів титану і утворенням плівки титану на внутрішній поверхні вакуумної камери, поглинання плівкою титану компонентів газоподібних домішок, в якому з метою підвищення продуктивності тонкого очищення інертних газів, та розширення варіантів їх подальшого використання, як вакуумна камера, в яку вводять неочищений інертний газ, використовують камеру циліндричної форми, внутрішню бокову поверхню якої охолоджують проточною водою, при цьому в якості титанової мішені для іонною розпилення використовують розігрітий до температури, що перевищує N00 °С титановий стрижень, який розташований співвісно циліндричній вакуумній камері, що оснащена клапаном для дозованого відведення очищених інертних газів.
Appears in Collections: Патенти

Views

Austria Austria
22194
China China
1
Czechia Czechia
1
Germany Germany
1
Greece Greece
1
Ireland Ireland
1384483
Lithuania Lithuania
1
Netherlands Netherlands
750
Ukraine Ukraine
46517072
United Kingdom United Kingdom
7905147
United States United States
229360803
Unknown Country Unknown Country
24

Downloads

Austria Austria
22193
Ireland Ireland
140329
Lithuania Lithuania
1
Ukraine Ukraine
31162370
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
285190479
Unknown Country Unknown Country
6

Files

File Size Format Downloads
117407_Perekrestov.pdf 353,92 kB Adobe PDF 316515379

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.