Імплантація іонів низьких та високих енергій у багатокомпонентні та багатошарові покриття: мікроструктура та властивості
No Thumbnail Available
Date
2019
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Сумський державний університет
Technical report
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
Date of Presentation
Abstract
Мета дослідження: встановлення закономірностей впливу умов осадження та дози і енергії імплантованих іонів на структурно-фазовий стан та фізикомеханічні властивості багатошарових та багатоелементних наноструктурних покриттів на основі нітридів або карбонітридів тугоплавких та перехідних металів. Предмет дослідження: структура та комплекс фізико-механічних властивостей багатокомпонентних та багатошарових наноструктурних покриттів на основі нітридів або карбонітридів перехідних та тугоплавких металів при імплантації іонами Au- різних доз та енергій.
Keywords
багатошарові покриття, многослойные покрытия, multilayer coatings, імплантація, имплантация, implantation, фізико-механічні властивості, физико-механические свойства, physical and mechanical properties, структура, structure
Citation
Імплантація іонів низьких та високих енергій у багатокомпонентні та багатошарові покриття: мікроструктура та властивості [Текст] : звіт про НДР (проміжний) / кер. О. Д. Погребняк. — Суми : СумДУ, 2019. — 36 с.