Програмно-апаратний комплекс досліджень оптичних властивостей тонких плівок
dc.contributor.author | Демиденко, Максим Геннадійович | |
dc.contributor.author | Демиденко, Максим Геннадьевич | |
dc.contributor.author | Demydenko, Maksym Hennadiiovych | |
dc.contributor.author | Проценко, Сергій Іванович | |
dc.contributor.author | Проценко, Сергей Иванович | |
dc.contributor.author | Protsenko, Serhii Ivanovych | |
dc.contributor.author | Тищенко, Костянтин Володимирович | |
dc.contributor.author | Тищенко, Константин Владимирович | |
dc.contributor.author | Tyshchenko, Kostiantyn Volodymyrovych | |
dc.contributor.author | Федченко, Олена Вікторівна | |
dc.contributor.author | Федченко, Елена Викторовна | |
dc.contributor.author | Fedchenko, Olena Viktorivna | |
dc.date.accessioned | 2012-08-28T11:31:32Z | |
dc.date.available | 2012-08-28T11:31:32Z | |
dc.date.issued | 2012 | |
dc.description.abstract | Використовуючи оптичні елементи компанії Torhlabs та систему графічного програмування LabVIEW 2010, розроблено автоматизований програмно-апаратний комплекс для дослідження опти- чних властивостей багатошарових плівкових систем. Запропоновано сумісний генетичний алгоритм для обробки експериментальних даних нуль еліпсометрії та рентгенівської рефлектрометрії. Показа- но, що запропонований підхід дозволяє дуже точно інтерпретувати фазові перетворення, дифузійні процеси та розмиття інтерфейсів в багатошарових плівкових системах при використанні різних роз- рахункових теоретичних моделей. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/27811 | ru_RU |
dc.identifier.citation | М.Г. Демиденко, С.І. Проценко, К.В. Тищенко, О.В. Федченко, Ж. нано- електрон. фіз. 4 № 2, 38 (2012) | ru_RU |
dc.identifier.sici | 0000-0002-8070-1610 | en |
dc.identifier.uri | http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/27811 | |
dc.language.iso | uk | ru_RU |
dc.publisher | Сумський державний університет | ru_RU |
dc.rights.uri | cne | en_US |
dc.subject | нуль-еліпсометрія | ru_RU |
dc.subject | рентгенівська рефлектометрія | ru_RU |
dc.subject | оптичні коефіцієнти | ru_RU |
dc.subject | співвідно- шення Френеля | ru_RU |
dc.subject | генетичні алгоритми | ru_RU |
dc.title | Програмно-апаратний комплекс досліджень оптичних властивостей тонких плівок | ru_RU |
dc.type | Article | ru_RU |