Програмно-апаратний комплекс досліджень оптичних властивостей тонких плівок

dc.contributor.authorДемиденко, Максим Геннадійович
dc.contributor.authorДемиденко, Максим Геннадьевич
dc.contributor.authorDemydenko, Maksym Hennadiiovych
dc.contributor.authorПроценко, Сергій Іванович
dc.contributor.authorПроценко, Сергей Иванович
dc.contributor.authorProtsenko, Serhii Ivanovych
dc.contributor.authorТищенко, Костянтин Володимирович
dc.contributor.authorТищенко, Константин Владимирович
dc.contributor.authorTyshchenko, Kostiantyn Volodymyrovych
dc.contributor.authorФедченко, Олена Вікторівна
dc.contributor.authorФедченко, Елена Викторовна
dc.contributor.authorFedchenko, Olena Viktorivna
dc.date.accessioned2012-08-28T11:31:32Z
dc.date.available2012-08-28T11:31:32Z
dc.date.issued2012
dc.description.abstractВикористовуючи оптичні елементи компанії Torhlabs та систему графічного програмування LabVIEW 2010, розроблено автоматизований програмно-апаратний комплекс для дослідження опти- чних властивостей багатошарових плівкових систем. Запропоновано сумісний генетичний алгоритм для обробки експериментальних даних нуль еліпсометрії та рентгенівської рефлектрометрії. Показа- но, що запропонований підхід дозволяє дуже точно інтерпретувати фазові перетворення, дифузійні процеси та розмиття інтерфейсів в багатошарових плівкових системах при використанні різних роз- рахункових теоретичних моделей. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/27811ru_RU
dc.identifier.citationМ.Г. Демиденко, С.І. Проценко, К.В. Тищенко, О.В. Федченко, Ж. нано- електрон. фіз. 4 № 2, 38 (2012)ru_RU
dc.identifier.sici0000-0002-8070-1610en
dc.identifier.urihttp://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/27811
dc.language.isoukru_RU
dc.publisherСумський державний університетru_RU
dc.rights.uricneen_US
dc.subjectнуль-еліпсометріяru_RU
dc.subjectрентгенівська рефлектометріяru_RU
dc.subjectоптичні коефіцієнтиru_RU
dc.subjectспіввідно- шення Френеляru_RU
dc.subjectгенетичні алгоритмиru_RU
dc.titleПрограмно-апаратний комплекс досліджень оптичних властивостей тонких плівокru_RU
dc.typeArticleru_RU

Files

Original bundle

Now showing 1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
Name:
jnep_2012_V4_02038.pdf
Size:
2.42 MB
Format:
Adobe Portable Document Format

License bundle

Now showing 1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
Name:
license.txt
Size:
4.35 KB
Format:
Item-specific license agreed upon to submission
Description: