Програмно-апаратний комплекс досліджень оптичних властивостей тонких плівок
No Thumbnail Available
Date
2012
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Сумський державний університет
Article
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
Date of Presentation
Abstract
Використовуючи оптичні елементи компанії Torhlabs та систему графічного програмування
LabVIEW 2010, розроблено автоматизований програмно-апаратний комплекс для дослідження опти-
чних властивостей багатошарових плівкових систем. Запропоновано сумісний генетичний алгоритм
для обробки експериментальних даних нуль еліпсометрії та рентгенівської рефлектрометрії. Показа-
но, що запропонований підхід дозволяє дуже точно інтерпретувати фазові перетворення, дифузійні
процеси та розмиття інтерфейсів в багатошарових плівкових системах при використанні різних роз-
рахункових теоретичних моделей.
При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/27811
Keywords
нуль-еліпсометрія, рентгенівська рефлектометрія, оптичні коефіцієнти, співвідно- шення Френеля, генетичні алгоритми
Citation
М.Г. Демиденко, С.І. Проценко, К.В. Тищенко, О.В. Федченко, Ж. нано- електрон. фіз. 4 № 2, 38 (2012)