Синтез надтвердих плівок дибориду танталу методом магнетронного розпилення на постійному струмі
No Thumbnail Available
Date
2018
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Сумський державний університет
Theses
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
Date of Presentation
Abstract
Матеріали модифіковані покриттями боридів та боридонітрідів набувають високої міцності і температурної стабільності, добре зарекомендували себе у сфері машинобудування. Надтвердість у даних плівках обумовлюється особливим наноструктурних станом з переважною орієнтацією зростання зерен по відношенню до кристалографічної площини.Для отримання покриттів диборида танталу використовували DC-магнетронну систему для реактивного синтезу з композиційних мішеней.
Keywords
бориди, бориды, borides, наноструктури, наноструктуры, nanostructures, плівки, пленки, films
Citation
Синтез надтвердих плівок дибориду танталу методом магнетронного розпилення на постійному струмі [Текст] / І.В. Шелест, В.В. Буранич, І.Н. Єпіфанов, Я.О. Кравченко // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 5-9 лютого 2018 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. – Суми: СумДУ, 2018. – С. 50.