Синтез надтвердих плівок дибориду танталу методом магнетронного розпилення на постійному струмі

dc.contributor.authorШелест, Ігор Владиславович
dc.contributor.authorШелест, Игорь Владиславович
dc.contributor.authorShelest, Ihor Vladyslavovych
dc.contributor.authorКравченко, Ярослав Олегович
dc.contributor.authorКравченко, Ярослав Олегович
dc.contributor.authorKravchenko, Yaroslav Olehovych
dc.contributor.authorБуранич, Володимир Володимирович
dc.contributor.authorБуранич, Владимир Владимирович
dc.contributor.authorBuranych, Volodymyr Volodymyrovych
dc.contributor.authorЄпіфанов, І.Н.
dc.date.accessioned2018-06-04T05:34:20Z
dc.date.available2018-06-04T05:34:20Z
dc.date.issued2018
dc.description.abstractМатеріали модифіковані покриттями боридів та боридонітрідів набувають високої міцності і температурної стабільності, добре зарекомендували себе у сфері машинобудування. Надтвердість у даних плівках обумовлюється особливим наноструктурних станом з переважною орієнтацією зростання зерен по відношенню до кристалографічної площини.Для отримання покриттів диборида танталу використовували DC-магнетронну систему для реактивного синтезу з композиційних мішеней.ru_RU
dc.identifier.citationСинтез надтвердих плівок дибориду танталу методом магнетронного розпилення на постійному струмі [Текст] / І.В. Шелест, В.В. Буранич, І.Н. Єпіфанов, Я.О. Кравченко // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 5-9 лютого 2018 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. – Суми: СумДУ, 2018. – С. 50.ru_RU
dc.identifier.sici0000-0003-0984-1298en
dc.identifier.urihttp://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/67910
dc.language.isoukru_RU
dc.publisherСумський державний університетru_RU
dc.rights.uricneen_US
dc.subjectборидиru_RU
dc.subjectборидыru_RU
dc.subjectboridesru_RU
dc.subjectнаноструктуриru_RU
dc.subjectнаноструктурыru_RU
dc.subjectnanostructuresru_RU
dc.subjectплівкиru_RU
dc.subjectпленкиru_RU
dc.subjectfilmsru_RU
dc.titleСинтез надтвердих плівок дибориду танталу методом магнетронного розпилення на постійному струміru_RU
dc.typeThesesru_RU

Files

Original bundle

Now showing 1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
Name:
Shelest_Buranych_Yepifanov_Kravchenko.pdf
Size:
437.51 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:

License bundle

Now showing 1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
Name:
license.txt
Size:
7.76 KB
Format:
Item-specific license agreed upon to submission
Description: