Мультифрактальное исследование микрогеометрии поверхности (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N нитридных покрытий

Abstract

Проведено якісне дослідження морфології (Ti-Hf-Zr-V-Nb) N нітридних покриттів залежно від по- тенціалу зсуву підкладки. Для кількісного аналізу зміни мікроскопічних неоднорідностей використо- вувався двовимірний мультифрактальний флуктуаційний аналіз. Розрахунок статистичних парамет- рів (узагальнений показник Херста та мультифрактальний спектр) вказує на відповідність теоретич- них розрахунків і експериментальних досліджень, а саме згладжування поверхні покриття із збіль- шенням енергії іонів.Проведено качественное исследование морфологии (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N нитридных покрытий в зави- симости от потенциала смещения подложки. Для количественного анализа изменения микроскопиче- ских неоднородностей применялся двумерный мультифрактальный флуктуационный анализ. Расчет статистических параметров (обобщенный показатель Херста и мультифрактальный спектр) указывает на соответствие теоретических расчетов и экспериментальных исследований, а именно сглаживание поверхности покрытия с увеличением энергии ионов.The qualitative investigation of the morphology of (Ti-Hf-Zr-V-Nb) N nitride coatings depending on the bias potential of the substrate was performed. The two-dimensional multifractal fluctuation analysis was used for the quantitative analysis of the changes in microscopic irregularities. The calculation of statistical parameters (generalized Hurst exponent and multifractal spectrum) indicates compliance with theoretical calculations and experimental studies, namely, smoothing of the coating surface with the increasing ion energy