Формирование многослойных пленочных структур с отрицательным термическим коэффициентом сопротивления и увеличенным коэффициентом тензочувствительности
No Thumbnail Available
Files
Date
2002
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Воронежский государственный технический университет
Article
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
Date of Presentation
Abstract
Представлены экспериментальные результаты исследования температурной зависимости термического коэффициента сопротивления (ТКС) пленочных систем на основе Ti, Ni и Cr, Ge. Отрицательное значение ТКС в первом случае связано с поглощением слоем Ti из остаточной атмосферы примесных газов, а во втором, скорее всего, с рекристаллизационными процессами в пленке Ge и взаимодействием между атомами Ge и Cr. Изучен тензорезистивный эффект в пленках на основе Cr, Ge и Cr, Sc. Проведено сравнение коэффициента продольной тензочувствительности однослойных и трехслойных пленок. Полученное отличие связано с вкладом а тензоэффект рассеивания электронов на границе раздела слоев
При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/819
Keywords
термический коэффициент сопротивления, тензорезистивный эффект, термічний коефіцієнт опору, тензорезистивний ефект, thermal coefficient of resistance, effect of tensosensibility
Citation
Проценко, С.И. Формирование многослойных пленочных структур с отрицательным термическим коэффициентом сопротивления и увеличенным коэффициентом тензочувствительности [Текст] / С.И. Проценко, В.В. Токмань, А.Н. Чорноус // Вестник Воронежского государственного технического университета. Серия Материаловедение. - 2002. - Вып. 1.11. - С. 17-19.