Формирование многослойных пленочных структур с отрицательным термическим коэффициентом сопротивления и увеличенным коэффициентом тензочувствительности
| dc.contributor.author | Проценко, Сергей Иванович | |
| dc.contributor.author | Токмань, Валерий Васильевич | |
| dc.contributor.author | Чорноус, Анатолий Николаевич | |
| dc.contributor.author | Токмань, Валерій Васильович | |
| dc.contributor.author | Tokman, Valerii Vasylovych | |
| dc.contributor.author | Chornous, Anatolii Mykolaiovych | |
| dc.contributor.author | Чорноус, Анатолій Миколайович | |
| dc.contributor.author | Проценко, Сергій Іванович | |
| dc.contributor.author | Protsenko, Serhii Ivanovych | |
| dc.date.accessioned | 2010-12-20T14:40:32Z | |
| dc.date.available | 2010-12-20T14:40:32Z | |
| dc.date.issued | 2002 | |
| dc.description | S.I.Procenko, V.VTokman`, A.M.Chomous Formation of multilayer films structures with a negative thermal resistance coefficient and enlarged coefficient of tensosensibility. ExpcrimcntaJ results of temperature dependence of a thermal resistance coefficient TCR of film systems on a basis Ti, Ni and Cr, Ge represented. The negative value TCR of Ti films connected with absorbed of layer Ti of impurity gases from a residue atmosphere, and in second case, most likely, with processes of recrystalMzation in Ge film and interaction between atoms Ge and Cr. Effect of tensosensibility in single and three-layer films is studied. Received difference is connected with scattering of electron on boundary of separate layers. | ru_RU |
| dc.description.abstract | Представлены экспериментальные результаты исследования температурной зависимости термического коэффициента сопротивления (ТКС) пленочных систем на основе Ti, Ni и Cr, Ge. Отрицательное значение ТКС в первом случае связано с поглощением слоем Ti из остаточной атмосферы примесных газов, а во втором, скорее всего, с рекристаллизационными процессами в пленке Ge и взаимодействием между атомами Ge и Cr. Изучен тензорезистивный эффект в пленках на основе Cr, Ge и Cr, Sc. Проведено сравнение коэффициента продольной тензочувствительности однослойных и трехслойных пленок. Полученное отличие связано с вкладом а тензоэффект рассеивания электронов на границе раздела слоев При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/819 | ru_RU |
| dc.identifier.citation | Проценко, С.И. Формирование многослойных пленочных структур с отрицательным термическим коэффициентом сопротивления и увеличенным коэффициентом тензочувствительности [Текст] / С.И. Проценко, В.В. Токмань, А.Н. Чорноус // Вестник Воронежского государственного технического университета. Серия Материаловедение. - 2002. - Вып. 1.11. - С. 17-19. | ru_RU |
| dc.identifier.sici | 0000-0002-5009-5445 | en |
| dc.identifier.uri | http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/819 | |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Воронежский государственный технический университет | ru_RU |
| dc.rights.uri | cne | en_US |
| dc.subject | термический коэффициент сопротивления | ru_RU |
| dc.subject | тензорезистивный эффект | ru_RU |
| dc.subject | термічний коефіцієнт опору | ru_RU |
| dc.subject | тензорезистивний ефект | ru_RU |
| dc.subject | thermal coefficient of resistance | ru_RU |
| dc.subject | effect of tensosensibility | ru_RU |
| dc.title | Формирование многослойных пленочных структур с отрицательным термическим коэффициентом сопротивления и увеличенным коэффициентом тензочувствительности | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |