Математическая модель процесса ионной имплантации
No Thumbnail Available
Date
2012
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Сумський державний університет
Theses
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
Date of Presentation
Abstract
Одним из современных методов поверхностной обработки материалов
высокоэнергетическими частицами является ионная имплантация. Этот метод не зависит от
пределов химической растворимости и концентрации материла примеси на поверхности
кристалла, а также от температуры в процессе имплантации
При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/28538
Keywords
обробка матеріалів, іонна імплантація, обработка материалов, ионная имплантация
Citation
Соколов, C.B. Математическая модель процесса ионной имплантации [Текст] / C.B. Соколов, И.В. Щекотова, А.А. Доброжан // Сучасні інформаційні системи і технології : матеріали Першої міжнародної науково-практичної конференції, м. Суми, 15-18 травня 2012 р. / Ред.кол.: А.С. Довбиш, О.А. Борисенко, І.В. Баранова. — Суми : СумДУ, 2012. — С. 27-28.