Особенности решения обратной задачи в спектроэллипсометрических исследованиях

No Thumbnail Available

Date

2004

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Издательство СумГУ
Article

Date of Defense

Scientific Director

Speciality

Date of Presentation

Abstract

In the present paper the possibility of application of spectral ellipsometry method for determination of parameters of near-surface layers amorphous metallic alloys is analysed. The selection criterion of incorrect solutions of inverse ellipsometry task is suggested which is based on the evaluation of the maximal caused by an error of the method deviation determined parameters. When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/997

Keywords

решение обратной задачи, метод спектральной єллипсометрии, роз`язання оберненої задачі, метод спектральної еліпсометрії

Citation

Карпуша, В.Д. Особенности решения обратной задачи в спектроэллипсометрических исследованиях [Текст] / В.Д. Карпуша, У.С. Швец // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. - 2004. - №10(69). - С. 28-35.

Endorsement

Review

Supplemented By

Referenced By