Особенности решения обратной задачи в спектроэллипсометрических исследованиях
No Thumbnail Available
Files
Date
2004
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Издательство СумГУ
Article
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
Date of Presentation
Abstract
In the present paper the possibility of application of spectral ellipsometry method for determination of parameters of near-surface layers amorphous metallic alloys is analysed. The selection criterion of incorrect solutions of inverse ellipsometry task is suggested which is based on the evaluation of the maximal caused by an error of the method deviation determined parameters.
When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/997
Keywords
решение обратной задачи, метод спектральной єллипсометрии, роз`язання оберненої задачі, метод спектральної еліпсометрії
Citation
Карпуша, В.Д. Особенности решения обратной задачи в спектроэллипсометрических исследованиях [Текст] / В.Д. Карпуша, У.С. Швец // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. - 2004. - №10(69). - С. 28-35.