Особенности решения обратной задачи в спектроэллипсометрических исследованиях
| dc.contributor.author | Карпуша, Василий Данилович | |
| dc.contributor.author | Швец, Ульяна Станиславовна | |
| dc.contributor.author | Швець, Уляна Станіславівна | |
| dc.contributor.author | Shvets, Uliana Stanislavivna | |
| dc.contributor.author | Karpusha, Vasyl Danylovych | |
| dc.contributor.author | Карпуша, Василь Данилович | |
| dc.date.accessioned | 2010-12-21T14:08:38Z | |
| dc.date.available | 2010-12-21T14:08:38Z | |
| dc.date.issued | 2004 | |
| dc.description.abstract | In the present paper the possibility of application of spectral ellipsometry method for determination of parameters of near-surface layers amorphous metallic alloys is analysed. The selection criterion of incorrect solutions of inverse ellipsometry task is suggested which is based on the evaluation of the maximal caused by an error of the method deviation determined parameters. When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/997 | ru_RU |
| dc.identifier.citation | Карпуша, В.Д. Особенности решения обратной задачи в спектроэллипсометрических исследованиях [Текст] / В.Д. Карпуша, У.С. Швец // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. - 2004. - №10(69). - С. 28-35. | ru_RU |
| dc.identifier.sici | 0000-0002-1518-4047 | en |
| dc.identifier.uri | http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/997 | |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Издательство СумГУ | ru_RU |
| dc.rights.uri | cne | en_US |
| dc.subject | решение обратной задачи | ru_RU |
| dc.subject | метод спектральной єллипсометрии | ru_RU |
| dc.subject | роз`язання оберненої задачі | ru_RU |
| dc.subject | метод спектральної еліпсометрії | ru_RU |
| dc.title | Особенности решения обратной задачи в спектроэллипсометрических исследованиях | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |