Решение обратной задачи эллипсометрии оптимизационными методами
No Thumbnail Available
Files
Date
2005
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Издательство СумГУ
Article
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
Date of Presentation
Abstract
В настоящей статье проанализированы существующие методы решения обратной задачи эллипсометрии. Рассмотрены проблемы, возникающие при решении данного рода задач. Указаны области применения каждого из них, а также их преимущества и недостатки. Выполнены численные моделирования тестовых задач, основанные на минимизации функционалов.
При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/698
Keywords
эллипсометрия, еліпсометрія, ellipsometry
Citation
Швец, У.С. Решение обратной задачи эллипсометрии оптимизационными методами [Текст] / У.С. Швец // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. — 2005. — №8(80). — С. 160-170.