Решение обратной задачи эллипсометрии оптимизационными методами
| dc.contributor.author | Швец, Ульяна Станиславовна | |
| dc.contributor.author | Shvets, Uliana Stanislavivna | |
| dc.contributor.author | Швець, Уляна Станіславівна | |
| dc.date.accessioned | 2010-12-20T09:34:53Z | |
| dc.date.available | 2010-12-20T09:34:53Z | |
| dc.date.issued | 2005 | |
| dc.description | In the present paper current methods of the solution to inverse task of ellipsometry has been analysed. The problems which appear while resolving such kind of task have been considered. Both the spheres of usage of each of them and their proc and cons have been pointed out. Based on minimization of functional the numeric simulations of testing tasks have been done. | ru_RU |
| dc.description.abstract | В настоящей статье проанализированы существующие методы решения обратной задачи эллипсометрии. Рассмотрены проблемы, возникающие при решении данного рода задач. Указаны области применения каждого из них, а также их преимущества и недостатки. Выполнены численные моделирования тестовых задач, основанные на минимизации функционалов. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/698 | ru_RU |
| dc.identifier.citation | Швец, У.С. Решение обратной задачи эллипсометрии оптимизационными методами [Текст] / У.С. Швец // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. — 2005. — №8(80). — С. 160-170. | ru_RU |
| dc.identifier.sici | 0000-0002-1518-4047 | en |
| dc.identifier.uri | http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/698 | |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Издательство СумГУ | ru_RU |
| dc.rights.uri | cne | en_US |
| dc.subject | эллипсометрия | ru_RU |
| dc.subject | еліпсометрія | ru_RU |
| dc.subject | ellipsometry | ru_RU |
| dc.title | Решение обратной задачи эллипсометрии оптимизационными методами | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |