Технологія одержання і фізичні властивості плівкових матеріалів та основи мікроелектроніки (практикуми)
No Thumbnail Available
Date
2020
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Сумський державний університет
Schoolbook
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
Date of Presentation
Abstract
У навчальному посібнику подані навчально-методичні матеріали і завдання до виконання циклу лабораторних практикумів "Технологія тонких плівок", "Фізичні властивості плівкових матеріалів", "Прилади і методи дослідження плівкових матеріалів" і "Основи опто- і мікроелектроніки" та проведення практичних і семінарських занять із курсів "Технологія наноструктурованих матеріалів", "Фізичні властивості плівкових матеріалів", "Прилади і методи дослідження плівкових
матеріалів", "Датчики неелектричних величин" та "Основи мікроелектроніки".
Навчальний посібник призначено для студентів вищих навчальних закладів денної і заочної форм навчання в галузі "Електроніка та телекомунікації".
Keywords
мікроелектроніка, микроэлектроника, microelectronics, плівкові матеріали, плёночные материалы, film materials
Citation
Технологія одержання і фізичні властивості плівкових матеріалів та основи мікроелектроніки (практикуми) [Електронний ресурс]: навч. посіб. / І.Ю. Проценко, Л.В. Однодворець. — Електронне видання каф. Електроніки, загальної та прикладної фізики. — Суми: СумДУ, 2020. — 231 с.