Технологія одержання і фізичні властивості плівкових матеріалів та основи мікроелектроніки (практикуми)
dc.contributor.author | Проценко, Іван Юхимович | |
dc.contributor.author | Проценко, Иван Ефимович | |
dc.contributor.author | Protsenko, Ivan Yukhymovych | |
dc.contributor.author | Однодворець, Лариса Валентинівна | |
dc.contributor.author | Однодворец, Лариса Валентиновна | |
dc.contributor.author | Odnodvorets, Larysa Valentynivna | |
dc.date.accessioned | 2020-05-20T08:26:17Z | |
dc.date.available | 2020-05-20T08:26:17Z | |
dc.date.issued | 2020 | |
dc.description.abstract | У навчальному посібнику подані навчально-методичні матеріали і завдання до виконання циклу лабораторних практикумів "Технологія тонких плівок", "Фізичні властивості плівкових матеріалів", "Прилади і методи дослідження плівкових матеріалів" і "Основи опто- і мікроелектроніки" та проведення практичних і семінарських занять із курсів "Технологія наноструктурованих матеріалів", "Фізичні властивості плівкових матеріалів", "Прилади і методи дослідження плівкових матеріалів", "Датчики неелектричних величин" та "Основи мікроелектроніки". Навчальний посібник призначено для студентів вищих навчальних закладів денної і заочної форм навчання в галузі "Електроніка та телекомунікації". | en_US |
dc.identifier.citation | Технологія одержання і фізичні властивості плівкових матеріалів та основи мікроелектроніки (практикуми) [Електронний ресурс]: навч. посіб. / І.Ю. Проценко, Л.В. Однодворець. — Електронне видання каф. Електроніки, загальної та прикладної фізики. — Суми: СумДУ, 2020. — 231 с. | en_US |
dc.identifier.sici | 0000-0003-3351-9303 | en |
dc.identifier.uri | https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/77600 | |
dc.language.iso | uk | en_US |
dc.publisher | Сумський державний університет | en_US |
dc.rights.uri | cne | en_US |
dc.subject | мікроелектроніка | en_US |
dc.subject | микроэлектроника | en_US |
dc.subject | microelectronics | en_US |
dc.subject | плівкові матеріали | en_US |
dc.subject | плёночные материалы | en_US |
dc.subject | film materials | en_US |
dc.title | Технологія одержання і фізичні властивості плівкових матеріалів та основи мікроелектроніки (практикуми) | en_US |
dc.type | Schoolbook | en_US |
Files
Original bundle
1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
- Name:
- Protsenko_Tekhnolohiia.pdf
- Size:
- 2.07 MB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description:
License bundle
1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
- Name:
- license.txt
- Size:
- 3.96 KB
- Format:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Description: