Моделирование распределения имплантированных ионов по глубине
No Thumbnail Available
Files
Date
2010
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво СумДУ
Theses
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
Date of Presentation
Abstract
Keywords
метод ионной имплантации, метод іонної імплантації, ion implantation
Citation
Соколов, С.В. Моделирование распределения имплантированных ионов по глубине [Текст] / С.В. Соколов, Т.В. Макаренко // Матеріали та програма науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспірантів і студентів факультету електроніки та інформаційних технологій : Суми, 19-23 квітня 2010 року / Відп. за вип. С.І. Проценко. — Суми : СумДУ, 2010. — С. 166.