Моделирование распределения имплантированных ионов по глубине
| dc.contributor.author | Sokolov, Serhii Viktorovych | |
| dc.contributor.author | Соколов, Сергей Викторович | |
| dc.contributor.author | Соколов, Сергій Вікторович | |
| dc.contributor.author | Марченко, Т.В. | |
| dc.date.accessioned | 2011-03-22T11:02:05Z | |
| dc.date.available | 2011-03-22T11:02:05Z | |
| dc.date.issued | 2010 | |
| dc.identifier.citation | Соколов, С.В. Моделирование распределения имплантированных ионов по глубине [Текст] / С.В. Соколов, Т.В. Макаренко // Матеріали та програма науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспірантів і студентів факультету електроніки та інформаційних технологій : Суми, 19-23 квітня 2010 року / Відп. за вип. С.І. Проценко. — Суми : СумДУ, 2010. — С. 166. | ru_RU |
| dc.identifier.sici | 0000-0001-8707-4616 | en |
| dc.identifier.uri | http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4228 | |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Видавництво СумДУ | ru_RU |
| dc.rights.uri | cne | en_US |
| dc.subject | метод ионной имплантации | ru_RU |
| dc.subject | метод іонної імплантації | ru_RU |
| dc.subject | ion implantation | ru_RU |
| dc.title | Моделирование распределения имплантированных ионов по глубине | ru_RU |
| dc.type | Theses | ru_RU |