Спосіб отримання конденсатів всередині нанопор анодно-окисленого алюмінію
No Thumbnail Available
Date
2014
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ)
Patent
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
Date of Presentation
Abstract
Спосіб отримання конденсатів всередині нанопор анодно-окисленого алюмінію (Аl2О3) шляхом випаровування речовини у вакуумі з подальшою конденсацією сформованих при цьому парових потоків всередині упорядкованої системи пор Аl2О3. Формування парових потоків здійснюють за допомогою магнетронного розпилення речовини. При цьому утворений паровий потік пропускають через тісно прилягаючі одна до одної трубки, діаметр яких не перевищує ширину зони розпилення магнетронної мішені. Осі трубок орієнтовані перпендикулярно поверхні магнетронної мішені та поверхні підкладок, на якій розташовують шар пористого Аl2О3.
Keywords
отримання конденсатів, формування парових потоків, розпилення речовини
Citation
Пат. 95509 U Україна, МПК H01L 21/20 (2006.01). Спосіб отримання конденсатів всередині нанопор анодно-окисленого алюмінію / В.І. Перекрестов, В.В. Наталіч, Г.С. Корнющенко, (Україна); заявник та патентовласник Сумський держ. ун-т. - № u201407832; заявл. 11.07.2014; опубл. 25.12.2014, бюл. № 24.