Спосіб отримання конденсатів всередині нанопор анодно-окисленого алюмінію
| dc.contributor.author | Перекрестов, Вячеслав Іванович | |
| dc.contributor.author | Перекрестов, Вячеслав Иванович | |
| dc.contributor.author | Perekrestov, Viacheslav Ivanovych | |
| dc.contributor.author | Наталіч, Вікторія Вадимівна | |
| dc.contributor.author | Наталич, Виктория Вадимовна | |
| dc.contributor.author | Natalich, Viktoriia Vadymivna | |
| dc.contributor.author | Корнющенко, Ганна Сергіївна | |
| dc.contributor.author | Корнющенко, Анна Сергеевна | |
| dc.contributor.author | Korniushchenko, Hanna Serhiivna | |
| dc.date.accessioned | 2015-11-02T12:18:48Z | |
| dc.date.available | 2015-11-02T12:18:48Z | |
| dc.date.issued | 2014 | |
| dc.description.abstract | Спосіб отримання конденсатів всередині нанопор анодно-окисленого алюмінію (Аl2О3) шляхом випаровування речовини у вакуумі з подальшою конденсацією сформованих при цьому парових потоків всередині упорядкованої системи пор Аl2О3. Формування парових потоків здійснюють за допомогою магнетронного розпилення речовини. При цьому утворений паровий потік пропускають через тісно прилягаючі одна до одної трубки, діаметр яких не перевищує ширину зони розпилення магнетронної мішені. Осі трубок орієнтовані перпендикулярно поверхні магнетронної мішені та поверхні підкладок, на якій розташовують шар пористого Аl2О3. | ru_RU |
| dc.identifier.citation | Пат. 95509 U Україна, МПК H01L 21/20 (2006.01). Спосіб отримання конденсатів всередині нанопор анодно-окисленого алюмінію / В.І. Перекрестов, В.В. Наталіч, Г.С. Корнющенко, (Україна); заявник та патентовласник Сумський держ. ун-т. - № u201407832; заявл. 11.07.2014; опубл. 25.12.2014, бюл. № 24. | ru_RU |
| dc.identifier.sici | 0000-0002-3832-1171 | en |
| dc.identifier.uri | http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/42530 | |
| dc.language.iso | uk | ru_RU |
| dc.publisher | Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ) | ru_RU |
| dc.rights.uri | cne | en_US |
| dc.subject | отримання конденсатів | ru_RU |
| dc.subject | формування парових потоків | ru_RU |
| dc.subject | розпилення речовини | ru_RU |
| dc.title | Спосіб отримання конденсатів всередині нанопор анодно-окисленого алюмінію | ru_RU |
| dc.type | Patent | ru_RU |