Особливості процесу дифузії як базової інтегральної технології

Abstract

Об’єктом дослідження кваліфікаційної роботи є дифузійні технології, які використовуються у виробництві елементів електроніки. Мета роботи – дослiдження особливостей технологічного процесу дифузiї для виготовлення елементів електроніки та вивчення алгоритмів його моделювання в програмі Silvaco TCAD. Робота складається із вступу, трьох розділів основної частини та висновків. У першому розділі наведено основні варіанти використання дифузії в інтегральній мікроелектроніці та її актуальність. У другому розділі розглядається основний функціонал програмного середовища TCAD Silvaco, що використовується для моделювання процесу дифузії, а також додаткові пакети яке розширюють функціонал даного продукту. У третьому розділі були успішно спроектовані структурні моделі ефекту випромінювача, дифузії в полікристалічному кремнію на основі зерна, перехідної посиленої дифузії за допомогою кластерів <311> та в осадження фосфору оксиду з використанням POCl.