Оптичні властивості одношарових плівок Co, Fe і Cu
No Thumbnail Available
Date
2015
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Сумський державний університет
Theses
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
Date of Presentation
Abstract
При досліджені фізичних властивостей нанорозмірних багатошарових плівкових структур важливо знати товщини окремих шарів. Зазвичай їх визначають в процесі конденсації методом кварцового резонатора. Після завершення конденсації можна легко визначити загальну товщину плівкової системи, а такий структурний параметр як товщина окремого шару можна визначити руйнівними методами або
неруйнівними методами рентгенівської рефлектометрії або еліпсометрії.
Keywords
багатошарова плівкова структура, многослойная пленочная структура, multilayer film structure, оптичний метод еліпсометрії, оптический метод эллипсометрии, optical method ellipsometry
Citation
Костенко, М.В. Оптичні властивості одношарових плівок Co, Fe і Cu [Текст] / М.В. Костенко, М.Г. Демиденко; кер. І.В. Чешко // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 20-25 квітня 2015 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. — Суми: СумДУ, 2015. — С. 120.