Showing results 1 to 1 of 1
| Issue Year | Title | Author(s) | Type | Views | Downloads |
|---|---|---|---|---|---|
| 2011 | Расчет геометрических параметров магнетронной распылительной системы для получения SiC-покрытий | Латышев, В.М. | Conference Papers | 3212288 | 6444959 |