Расчет геометрических параметров магнетронной распылительной системы для получения SiC-покрытий

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/12702

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Расчет геометрических параметров магнетронной распылительной системы для получения SiC-покрытий
Authors	Латышев, В.М.
ORCID
Keywords
Type	Conference Papers
Date of Issue	2011
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/12702
Publisher	Изд-во СумГУ
License	Copyright not evaluated
Citation	Латышев, В. М. Расчет геометрических параметров магнетронной распылительной системы для получения SiC-покрытий [Текст] / В. М. Латышев, В. И. Перекрестов // Фізика, електроніка, електротехніка : матеріали та програма науково-технічної конференції, Суми, 18-22 квітня 2011 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. — Суми : СумДУ, 2011. — C. 54.
Abstract
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)