Please use this identifier to cite or link to this item:
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/12702
Or use following links to share this resource in social networks:
Tweet
Recommend this item
Title | Расчет геометрических параметров магнетронной распылительной системы для получения SiC-покрытий |
Authors |
Латышев, В.М.
|
ORCID | |
Keywords | |
Type | Conference Papers |
Date of Issue | 2011 |
URI | http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/12702 |
Publisher | Изд-во СумГУ |
License | |
Citation | Латышев, В. М. Расчет геометрических параметров магнетронной распылительной системы для получения SiC-покрытий [Текст] / В. М. Латышев, В. И. Перекрестов // Фізика, електроніка, електротехніка : матеріали та програма науково-технічної конференції, Суми, 18-22 квітня 2011 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. — Суми : СумДУ, 2011. — C. 54. |
Abstract | |
Appears in Collections: |
Наукові видання (ЕлІТ) |
Views
Belarus
1
Canada
1
China
1
France
1
Germany
20226
Greece
20229
Iran
1
Ireland
116585
Lithuania
1
Mongolia
1
Russia
15
Singapore
1
Turkey
5
Ukraine
1722728
United Kingdom
868107
United States
5960260
Unknown Country
64
Downloads
Belarus
1
China
2
Germany
20229
Lithuania
1
Russia
6
Singapore
1
Ukraine
3212289
United Kingdom
1
United States
5960257
Unknown Country
141
Files
File | Size | Format | Downloads |
---|---|---|---|
27.pdf | 172,92 kB | Adobe PDF | 9192928 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.