Показаны результаты 1 - 1 из 1
| Год выпуска | Название | Автор(ы) | Тип | Просмотров | Загружено |
|---|---|---|---|---|---|
| 2013 | Effect of Added Nitrogen on Properties of SiCN Films Prepared by PECVD Using Hexamethyldisilazane | Porada, O.K.; Kozak, A.O.; Ivashchenko, L.A.; Ivashchenko, V.I.; Tomila, T.V. | Conference Papers | 242270701 | 251148292 |