Вплив ізотермічного відпалювання на фазовий склад і електрофізичні властивості тонко плівкових систем на основі Аl та Ті

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/15223

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Вплив ізотермічного відпалювання на фазовий склад і електрофізичні властивості тонко плівкових систем на основі Аl та Ті
Authors	Stepanenko, Andrii Oleksandrovych Vorobiov, Serhii Ihorovych Shabelnyk, Yurii Mykhailovych
ORCID	http://orcid.org/0000-0003-0105-0440 http://orcid.org/0000-0002-5884-3292 http://orcid.org/0000-0002-7516-5518
Keywords
Type	Conference Papers
Date of Issue	2007
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/15223
Publisher	Видавництво СумДУ
License
Citation	Воробйов, С.І. Вплив ізотермічного відпалювання на фазовий склад і електрофізичні властивості тонко плівкових систем на основі Аl та Ті [Текст] / С.І. Воробйов, Ю.М. Шабельник, А.О. Степаненко // Тези доповідей науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспіратнів та студентів фізико-технічного факультету : 19-26 квітня. - Суми : СумДУ, 2007. - C. 35.
Abstract
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)