Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1802
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Вплив температурної обробки на фазовий склад багатошарових плівок систем на основі Ti та Al, отриманих магнетронним методом
Authors Stepanenko, Andrii Oleksandrovych  
Dehtiaruk, Leonid Vasylovych
Chornous, Anatolii Mykolaiovych  
ORCID http://orcid.org/0000-0003-0105-0440
http://orcid.org/0000-0002-5009-5445
Keywords вплив температурної обробки
влияние температурной обработки
influence of temperature treatment
багатошарові плівкові системи
многослойные пленочные системы
multi-layered pellicle systems
магнетронний метод
метод магнетрона
method of magnetron
Type Article
Date of Issue 2008
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1802
Publisher Видавництво СумДУ
License
Citation Степаненко, А.О. Вплив температурної обробки на фазовий склад багатошарових плівок систем на основі Ti та Al, отриманих магнетронним методом [Текст] / А.О. Степаненко, Л.В. Дехтярук, А.М. Чорноус // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. — 2008. — №2. — С. 124-128.
Abstract
Appears in Collections: Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)

Views

Canada Canada
1
China China
3
Czechia Czechia
2
EU EU
1
France France
20940
Germany Germany
2084821
Greece Greece
1
Iran Iran
2
Ireland Ireland
627541
Italy Italy
1
Japan Japan
1
Lithuania Lithuania
1
Netherlands Netherlands
55794
Poland Poland
1
Russia Russia
21
Singapore Singapore
1
Slovakia Slovakia
1
Spain Spain
1
Sweden Sweden
1
Turkey Turkey
18
Ukraine Ukraine
8226587
United Kingdom United Kingdom
4169080
United States United States
92406144
Unknown Country Unknown Country
7024

Downloads

Belgium Belgium
1
China China
3
France France
1
Germany Germany
564
Lithuania Lithuania
1
Poland Poland
1
Ukraine Ukraine
16446922
United States United States
92406141
Unknown Country Unknown Country
7025

Files

File Size Format Downloads
E1DD7A89d01.pdf 173.13 kB Adobe PDF 108860659

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.