Використання та створення новітніх тонкоплівкових матеріалів мікроелектроніки

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/21464

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Використання та створення новітніх тонкоплівкових матеріалів мікроелектроніки
Authors	Solomakha, Volodymyr Anatoliiovych
ORCID
Keywords	мікроелектроніка microelectronics микроэлектроника
Type	Article
Date of Issue	2007
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/21464
Publisher	Видавництво СумДУ
License
Citation	Соломаха, В.А. Використання та створення новітніх тонкоплівкових матеріалів мікроелектроніки [Текст] / В.А. Соломаха // Досягнення сучасної електроніки і методика викладання її у вищій школі : тези доповідей міжкафедрального науково-методичного семінару, 18-19 квітня 2007 року. - Суми : СумДУ, 2007. - С. 7-8.
Abstract
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)