Використання генетичного алгоритму для роз’вязання оберненої задачі еліпсометрії

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/2365

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Використання генетичного алгоритму для роз’вязання оберненої задачі еліпсометрії
Authors	Demydenko, Maksym Hennadiiovych Protsenko, Serhii Ivanovych Protsenko, Olena Borysivna Федченко, О.В. Шифолович, П.
ORCID	http://orcid.org/0000-0002-8070-1610 http://orcid.org/0000-0001-5046-854X
Keywords	еліпсометрія эллипсометрия ellipsometry
Type	Article
Date of Issue	2008
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/2365
Publisher	Видавництво СумДУ
License
Citation	Використання генетичного алгоритму для роз’вязання оберненої задачі еліпсометрії [Текст] / М.Г. Демиденко, С.І. Проценко, О.Б. Проценко та ін. // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. — 2008. — №1. — С. 33-42.
Abstract
Appears in Collections:	Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)