Комплексное исследование процессов происходящих при ионной имплантации с целью получения нужных параметров обработки

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/23689

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Комплексное исследование процессов происходящих при ионной имплантации с целью получения нужных параметров обработки
Authors	Bazyl, Olena Oleksandrivna Пятаченко, В.
ORCID	http://orcid.org/0000-0002-2644-5361
Keywords	обробка поверхні обработка поверхности surface treatment
Type	Conference Papers
Date of Issue	2004
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/23689
Publisher	Изд-во СумГУ
License
Citation	Пятаченко, В. Комплексное исследование процессов происходящих при ионной имплантации с целью получения нужных параметров обработки [Текст] / В. Пятаченко, Е.А. Базыль // Науково-технічна конференція викладачів, співробітників і студентів механіко-математичного факультету, 14-29 квітня : програма і тези доповідей. — Суми : СумДУ, 2004. — С. 101-102.
Abstract
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)