Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/30980
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Перетворення в субмоношарових покриттях хрому та титану на поверхні Sі (001)
Other Titles Transformations in Submonolayer Coverages of Chromium and Titanium on Si (001) Surface
Превращения в субмоношаровых покрытиях хрома и титана на поверхности Sі(001)
Authors Бутарєв, К.О.
Коваль, І.П.
Лень, Ю.А.
Находкін, М.Г.
ORCID
Keywords Перехідний метал
Силіцид
Окислення
Кремній
Transition metal
Silicide
Oxidation
Silicon
Переходной металл
Силицид
Окисление
Кремний
Type Article
Date of Issue 2013
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/30980
Publisher Сумський державний університет
License
Citation К.О. Бутарєв, І.П. Коваль, Ю.А. Лень, М.Г. Находкін, Ж. Нано- електрон. фіз. 5 № 1, 01025 (2013)
Abstract В даній роботі проведено дослідження перетворень в покриттях Ti та Cr (~ 1-3 нм) на поверхні Si (001) при кімнатній температурі до та після відпалу при 450 °С. Виявлено, що після відпалу формуються острівцеві плівки. Встановлено, що стехіометрія отриманих острівців відповідає дисиліцидній структурі. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/30980
In this article the structure Si (001) surface covered by the pre-adsorbed (~ 1-3 nm) of Ti and Cr at room temperature after annealing at 450 °C was studied. It was found that after annealing on silicon surface formed island coverage. The investigation of stoichiometry shows that island’s composed of disilicide structure. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/30980
В данной работе проведено исследования превращения в покрытиях Ti и Cr (~ 1-3 нм) на Si (001) при комнатной температуре до и после отжига при 450 °С. Выявлено, что после отжига формируются островковые пленки. Стехиометрия полученных островков отвечает диссилицидной структуре. When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/30980
Appears in Collections: Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)

Views

Australia Australia
1
Canada Canada
1
China China
3092190
EU EU
1
France France
1
Germany Germany
10868
Greece Greece
1
Hong Kong SAR China Hong Kong SAR China
1
India India
2
Ireland Ireland
48399
Lithuania Lithuania
1
Russia Russia
17
Seychelles Seychelles
1
Singapore Singapore
1
Sweden Sweden
1
Turkey Turkey
1
Ukraine Ukraine
685585
United Kingdom United Kingdom
231129
United States United States
14320895
Unknown Country Unknown Country
60

Downloads

China China
14320894
Germany Germany
2
Lithuania Lithuania
1
Russia Russia
1
Singapore Singapore
1
Ukraine Ukraine
1140038
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
6184374
Unknown Country Unknown Country
113

Files

File Size Format Downloads
Butariev K.O._Transition metal.pdf 362.96 kB Adobe PDF 21645425

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.